来源:OFweek半导体照明网2013-11-12
图3:sic迎来150mm基板的东风各sic基板企业在icscrm 2013上纷纷展出150mm(6寸)口径的sic基板(a)。在sic基板上层积外延层的外延服务也开始支援150mm。