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水中颗粒小也无妨
技术改良,采用分类膜法处理工艺,大规模回收研磨废水
坐落于苏州工业园区的三星电子(苏州)半导体有限公司,主要生产半导体部件和进行半导体封装测试。这家企业的废水主要来源于生产工艺的超纯水冲洗排放,其特点是水质好,主要污染物为晶片切割和研磨产生的颗粒,具有较高的回收价值。
据公司负责人介绍,由于排放水中的颗粒很小(200~300纳米),很难用传统的过滤方式进行回收,只能采用化学工艺,与其他废水汇合在一起,通过中和混凝沉淀的方式进行处理。但由于处理后的水质较差,只能作为废水直接排放。
针对公司排放水的特点,从2007年开始,三星电子(苏州)半导体有限公司不断进行废水回收技术研究,通过与供应商合作,引入不同的处理工艺和技术进行小试和中试,最终确定了“分类膜法处理”工艺进行综合废水回收,即将不同的废水分类,采用相应的膜进行回收。颗粒大的废水(切割废水)采用CMF(连续微滤膜过滤器)技术进行回用,颗粒小的废水(研磨废水)采用IFM(浸入式平板超滤膜)技术进行回收,同时采用UF(超滤膜)和RO(反渗透膜)进一步深度处理,处理后的水直接进入公司原有的超纯水系统,直接用于生产工艺。
公司工作人员告诉记者,回收研磨废水的核心技术是平板膜技术。由于水中的研磨颗粒较细,硅含量高,采用一般的微滤或超滤膜处理研磨废水,容易出现膜堵塞、膜通量下降、跨膜压差升高而且不易清洗恢复等异常情况,从而使整个系统无法正常运行。
为确保系统正常运行,公司对平板膜的膜层材料进行了改良,有效解决了这一技术难题。由此,三星电子(苏州)半导体有限公司的再生水回用系统成为了全球首家采用膜技术大规模回收研磨废水的案例。
据了解,再生水回用项目从2009年6月开始实施,投入1000多万元资金,目前系统运行稳定,达到了设计要求。通过“分类膜法处理”工艺的综合改造,三星电子(苏州)半导体有限公司的废水回用率达到了60%,年回用再生水38万吨,年减少化学需氧量排放34吨,年减少化学品使用量30吨,年减少有毒有害污泥490吨,取得了良好的经济效益和环境效益。(记者 李莉)
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