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随着物联网概念兴起,传感器在物联网社会中将扮演重要的角色,日本开始扩大MEMS传感器的研发,加大传感器的应用。
日本电子零组件厂从家电转移到手机与汽车零组件后,积极投入微机电(MEMS)传感器研发,推出各种超小型与高精度的传感器,扩大传感器的应用;随物联网概念兴起,传感器在物联网社会中将扮演更重要的角色。
微机电传感器依用途大致可分成二类:一,运动与方位传感器,如罗盘功能用地磁传感器,运动状态用速度与加速度传感器、倾斜传感器、陀螺仪等,常用在导航系统;二,大气资料传感器,如温度、湿度、压力传感器等,除气象用途外,也可用在医疗保健又或汽车控制用途。
北陆电气工业(HDK)原本便生产多种传感器,随微机电传感器在传感器领域的重要性渐增,北陆电气也转而研发微机电技术,生产微机电传感器,并将传感器与基板等其他零组件、以及必须软体,组成模组一起销售,扩大相关事业。目前该社以超小型湿度传感器为主力产品。
村田制作所(Murata)踏入微机电领域,始自2012年购并前芬兰传感器大厂VTI Technology、改名为Murata ElectronicsOy,接下来开始生产各种运动与方位用途的微机电传感器,用在汽车、医疗保健、电力、生化研究、IT等各种领域。
目前村田强调的微机电传感器,是全球首款表面实装型角加速度传感器,长5.2毫米(mm)、宽2.5毫米、高0.8毫米,可望取代过去的螺丝端子型或圆筒型角加速度传感器,让运动感测系统的设计更为多元。
TDK、Alps电气(Alps Electric)与罗姆半导体(Rohm Semiconductor)的微机电传感器则以压力或湿度感测为主,可感测高度差200毫米等级的微小气压差,足以精确测量高度。这些厂同时积极与运动传感器厂合作,推出结合运动方位感测与气压感测的传感器模组,供智能型手机或穿戴式装置应用。
而Mitsumi电机(Mitsumi Electric)与日本航空电子工业(JAE)等二厂,目前正在积极开发微机电传感器,用于汽车及基础建设市场。
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