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近年来,现代先进制造业工厂自动化程度和生产连续性越来越高,这大大地提高了生产效率。自动化生产线上的数字精密仪器、PC、PLC等电能质量敏感设备成倍涌现,对电能质量的要求也不断提高。相对于只有停电才受影响的传统负荷,这些设备对电能质量非常敏感,短时间的电压突然变化往往会引起设备的不正常运行,发生停机等事故。从而影响整条生产线的运转,造成巨大的直接和间接经济损失。
国家发改委经济调节运行局曾委托亚洲电能质量产业联盟开展了电能质量经济性影响调查,经过大量的调研与分析,都表明电压暂降与短时中断都是最为显著的电能质量问题,成为供用电双方共同面临的挑战。
其中半导体行业因电能质量扰动带来的生产损失高居第一位。
2017年1月6日,因上海市集成电路行业协会的邀请,亚洲电能质量产业联盟携手上海市电力科学研究院与联盟成员企业:上海捷实科技有限公司和南京国臣信息自动化有限公司,共同与中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司、上海先进半导体制造股份有限公司、上海新进半导体有限公司、台积电(中国)有限公司、上海华力微电子有限公司等各制造公司的技术人员就电能质量扰动对半导体生产制造带来的影响和解决措施展开探讨。
首先由亚洲电能质量产业联盟秘书长黄炜对半导体行业的电压暂降防治提出了几点建议。
1、对于用电方而言,首先应该了解并掌握电压暂降对于生产制造的影响及可能造成的损失范围;
2、其次懂得问题的解决有三个方向,包括供电侧,设备侧和保护装置方案,最后评估不同解决方案的技术经济性,选择更适合的方案。
3、半导体制造厂要积极争取和供电方的双向沟通,尽量充分的交互信息,在可能的范围内相互理解并支持彼此的工作;要按照SEMIF47,SEMIF42的要求采购和检验机台;若机台在满足设备采购要求的情况下,仍不能有效防治电压暂降对生产连续的干扰,则要认真考虑购置保护装置,以抵御暂降事件带来的不可挽回的损失。
上海电力科学研究院的宋杰工程师,则从供电方的角度对电压暂降,影响程度及评估标准进行解读,并就行业所遇到的关于电压暂降方面的问题,采取的措施以及电网企业所能做的情况进行沟通。
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