来源：国家电网报2025-01-14

2024年，中国电科院在宽频微机电系统加工技术（mems）自取能传感器、高性能磁敏材料和传感器核心组件等核心技术方面实现突破。...，拓展了新型电力系统规划科学验证深度。

来源：国家电网报2024-12-24

近日获悉，由中国电力科学研究院有限公司牵头，国网四川省电力公司、中国科学院物理研究所、西安交通大学等9家单位和高校共同承担的国家重点研发计划项目“高灵敏微机电系统加工技术（mems）磁敏感元件及传感器”

来源：福建省工信厅2024-08-27

支持光学元件、微机电系统（mems）传感器、视频soc芯片等基础元器件研发应用。重点提升柔性显

来源：湖北省人民政府2024-07-05

重点发展原生多模态通用大模型、类脑智能、群体智能、aiforscience，加快神经元芯片、类脑芯片、ai算力芯片、智能传感器、高性能微机电系统等高端元器件研发，推进多模态模型、通用人工智能垂直领域模型在智能终端领域的应用

来源：国家电网报2023-12-27

项目组定向开展了铌酸钾钠基无铅压电材料性能调控、微机电系统压电传声器设计及低功耗无线通信模组等研究，全面突破了常规电容式传声器防水防尘性能不足的限制，研制出高耐候免维护噪声监测装置，实现了高端噪声监测装置的自主可控

来源：江西省工业和信息化厅2023-10-27

聚焦微机电系统（mems）、互补金属氧化物半导...多技术融合、产学研用金高效协同的系统化、集成化创新体系基本形成，建设30个产业技术创新中心、重点实验室等创新平台，在部分领域核心关键技术创新取得突破。行业应用融合发展明显深化。

来源：广州市市场监督管理局2023-04-10

重点开展复杂几何量、微纳米、微机电系统、光纤、痕量物质等领域精密测量技术研究。开展芯片三维复杂纳米结构几何参数在线精准测量技术等研究和应用。...推动建设分布式光伏、充电桩、电储能、工商业可调负荷接入标准，构建负荷管理系统。推广5g+电力量测及智慧用电试点，打造数智化配电网络系统。

来源：河南省人民政府2022-09-29

充分发挥我省在先进计算、智能传感器、集成电路、新型显示和智能终端、信息安全等领域特色优势，重点研发声光学元器件及模组、新型光学显示器件、光通信芯片、信息安全芯片、微机电系统传感器等核心部件，大力发展用于元宇宙的操作系统

来源：河南省人民政府2022-09-28

充分发挥我省在先进计算、智能传感器、集成电路、新型显示和智能终端、信息安全等领域特色优势，重点研发声光学元器件及模组、新型光学显示器件、光通信芯片、信息安全芯片、微机电系统传感器等核心部件，大力发展用于元宇宙的操作系统

来源：江苏省人民政府2022-07-29

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。...围绕江苏省产业智能化改造，开展工业机器人机械系统、控制系统、驱动系统等关键计量测试技术研究，加强人工智能计量基础理论、评价方法和技术攻关，提升智能工业控制系统整体测量能力。（二）服务数字经济发展。

来源：北极星环保网2022-03-24

天文学创新中心项目9.承德木兰围场文化旅游产业园项目10.承德隆化中药材加工仓储物流及交易中心项目11.承德隆化风电光伏水电解制取绿氢项目12.承德高纯 oled 发光材料和光阻材料生产项目13.承德 mems（微机电系统

来源：美国菲力尔公司2021-03-09

声像仪通常采用mems（微机电系统）型麦克风，因其性能出色、稳定性强、功耗较低，并且尺寸较小。...flir si124是一款简单易用的智能声波成像系统能够可视化显示空气压缩系统的加压泄漏不仅定位准确，而且便捷安全一起跟随小菲的脚步来看看它是如何做到的吧~01准确查找泄漏，缩短检测时间 大多数泄漏会产生湍流

来源：粉体网2020-11-05

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积（pvd/cvd）制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems（微机电系统）领域中。...目前商用的锂离子电池，在短路情况发生时会释放大量热量，会引燃有机电液，产生爆炸隐患，即使是目前被认为最安全的特斯拉汽车，使用了复杂的电池管理系统和防护措施，仍在问世短短的几年内发生多次着火爆炸事故。

来源：by白羽科技2020-07-07

3、机电一体化技术机械元素与电子元素相融合的nsk独自的机电一体化技术，被有效应用于高功能电机、控制技术、感应技术、以及高耐热、高密度、高可靠性的实装技术、生物医学微机电系统技术等领域。

来源：新华网等2020-06-05

发动机新工厂建设项目 10亿元9.东风汽车集团有限公司东风越野车军民融合产业园 10亿元10.国家能源投资集团有限责任公司荆州和随州热电联产项目 10亿元 其他部分项目一览 中国信科武汉移动通讯技术项目中国信科智能微机电系统产业项目华润电力襄阳宜城市

来源：新华网等2020-06-04

发动机新工厂建设项目 投资10亿元东风汽车集团有限公司 东风越野车军民融合产业园 投资10亿元国家能源投资集团有限责任公司 荆州和随州热电联产项目 投资10亿元中国信科武汉移动通讯技术项目中国信科智能微机电系统产业项目华润电力襄阳宜城市

来源：新华网 等2020-06-04

发动机新工厂建设项目 投资10亿元东风汽车集团有限公司 东风越野车军民融合产业园 投资10亿元国家能源投资集团有限责任公司 荆州和随州热电联产项目 投资10亿元中国信科武汉移动通讯技术项目中国信科智能微机电系统产业项目华润电力襄阳宜城市

来源：国家电网报2020-03-16

该项目全面深入开展无源光纤传感、低功耗mems（微机电系统）传感等新型光机电传感器技术研究，整体达到国际先进水平，在传感器微型化设计、抗电磁干扰选型、现场优化部署等方面取得实质性突破。

来源：环球电镀网2020-02-19

当前，随着3d芯片、微机电系统（mems）和物联网等新的需求不断递增，未来电镀行业将在这些新的高端领域发挥更加突出的作用。...随着电镀工艺的进步和其他行业需求的增长，近年来电镀技术逐渐向电子、微机电系统和钢铁等行业发展。这对电镀的要求更高，也促进了电镀行业向集约化、规模化方向发展，并推动电镀行业技术不断进步。

来源：中国科学报2018-07-11

近年来，可穿戴、便携式电子设备及微机电系统朝着轻薄短小、多功能集成方向快速发展，急需开发与其相配套的高能量密度、柔性化、微型化储能器件。研究团队发展了一种绿色环保的电化学剥离法一步制备出氟掺杂石墨烯。