来源：北极星太阳能光伏网（独家）2014-06-27

薄膜电池组件清洗玻璃或其他基底，不需要酸碱刻蚀，用的都是少量的有机清洗剂，不仅没有酸碱的污染，而且是真空镀膜，光伏材料和电池组件制造同时在一个车间内完成，所以薄膜电池在这方面基本上没有污染。

来源：PV-Tech2014-05-20

扫描电镜(sem)显示，等离子体表面刻蚀和活化显著增加了pet与涂层之间的相容性，使它们之间得到十分紧密而强有力的整合。...背板以pet为基材，经等离子体表面刻蚀和活化后，双面涂以特殊研制的反应性功能氟碳涂料，经热固化后得到具有聚氨酯结构的膜胶一体化背板。

来源：TestPV2014-05-09

用三氯氧磷扩散性能更好natcore共向光伏制造商运送了五批黑硅刻蚀的硅片，其中两批用作受控对照产品，另三批用作测试。

来源：新华社2014-03-14

据了解，光伏产业链运用到的主要装备有三氯氢硅系统、多晶硅炉、单晶硅炉、多线切割机、等离子体气相沉积设备、等离子刻蚀机、制绒机、激光划切机、丝网印刷机，自动分拣机等。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-31

目前，多晶硅绒面技术主要有机械刻槽、激光刻槽、等离子刻蚀(rie)和各向同性酸腐蚀。在硅片表面织构的制作过程中，可能会引入机械应力和损伤，在后处理中形成缺陷。...目前公司主营产品有：显影清洗设备、蚀刻脱膜设备、中间水洗设备、pet卷材清洗设备、单片制程清洗设备、玻璃减薄设备、二次强化设备、盖板玻璃清洗设备、背抛光刻蚀清洗设备、单(多)晶制绒设备、全自动spm超声清洗设备

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-27

48所太阳电池制造装备具备了"整线交钥匙"工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际着名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-24

48所太阳电池制造装备具备了"整线交钥匙"工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际着名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%

来源：河北新闻网2013-12-10

可就在这个时候，因研发博秀的需要，晶澳要从德国进口一套湿法刻蚀机，报价6000万元。这对于手头正紧的公司来说，是笔不小的开支。带着忐忑的心情，他们把报告打上去了，没想到第二天董事会就批准了。靳

来源：新华网2013-12-02

实际就是通过化学溶剂刻蚀，在原有的硅太阳能电池的微米孔状结构上再生成许多纳米尺寸的小孔。

来源：电子信息产业网 陈炳欣2013-11-13

上海中微的12英寸介质刻蚀机进入批量销售;北方微12英寸硅刻蚀机、pvd进入销售，tsv封装与led系列装备开始批量销售;上海微电子封装光刻机等产品进入批量销售;七星华创low-k清洗机、氧化炉等产品开始进入销售

来源：科技日报2013-08-29

目前，我国的光伏产品主要是技术相对成熟的硅太阳能电池，尽管其光电转换效率很高，但由于在生产及后处理中需要对硅材料进行提纯与刻蚀，不仅工艺复杂、高耗能，而且会产生大量废液，严重污染生态环境。

来源：ZDNetserver频道2013-08-09

传统物理硬件也并没有失去施展平台，目前的芯片刻蚀技术已经相当精密、足以将不同组件整合至单块芯片或者同一套封包当中。推动ibm决策的另一大因素在于，it业界希望拥有更多选择即x86之外的解决方案。

来源：红网2013-07-31

该公司先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案

来源：PV-Tech2013-06-14

在已有的研究基础上，林昌健教授课题组首次报道了通过简单的水热法结合后续的化学刻蚀，在透明导电玻璃基底表面构筑结合力强、膜厚达~20m的高比表面积、多孔状单晶金红石tio2纳米棒阵列膜，并在染料敏化太阳能电池应用中取得了

来源：江苏省地方税务局2013-06-09

密切跟踪光伏行业技术转型升级，对晶澳（扬州）太阳能科技有限公司三期800mw太阳能电池组件及配套项目和太阳能刻蚀工艺技改项目，实行专人负责，全程辅导，帮助企业规范财务核算和研究开发费用归集，让企业及时享受企业所得税等税收优惠政策

来源：Solarzoom2013-05-28

同时还需要更换清洗和刻蚀设备，这对于电池制造商又是一笔现金支出对于不同公司也各不相同。

来源：中国河北2013-04-27

经过多次试验，晶澳研究人员用化学溶液在平整膜面上刻蚀出绒面，增加光程，减少光的反射。经过湿法刻蚀工艺改造后，晶澳综合成本降低了2%。在使用方面，高光电转化率就可以在有限面积的屋顶上发出更多的电。

来源：世纪新能源网2013-04-22

ibc电池的工艺流程大致如下：清洗-制绒-扩散n+-丝印刻蚀光阻-刻蚀p扩散区-扩散p+-减反射镀膜-热氧化-丝印电极-烧结-激光烧结。

来源：PV-Tech2013-04-11

ae公司致力于研究和生产基于等离子状态下薄膜沉积和刻蚀工艺的开关电源，产品主要包括直流电源、直流脉冲电源、低频和中频电源以及射频电源。

来源：扬州网2013-04-03

这是我们公司新改造的太阳能刻蚀工艺技术应用。...宋锋兵介绍，整个晶硅电池生产线分为制绒、扩散、刻蚀、pecvd、丝网印刷等5个环节，原先的4个环节都处于全球一流水准，只有刻蚀这个环节仍然需要3台机器同时运转。