来源：中国电力电子产业网2014-05-21

其中包括基于mems技术的传感器、环境监测设备用气体传感器、流量传感器、湿度传感器等。

来源：CCTIME飞象网2014-05-07

2.传感器类项目(5)mems多功能运动传感器研发重点支持同时具有陀螺仪和加速度计综合功能的mems传感器的研发，微陀螺仪量程在250/s，偏置误差0.5/s，微加速度传感器量程在5g，零点误差50mg

来源：OFweek智能电网2014-05-07

其中包括基于mems技术的传感器、环境监测设备用气体传感器、流量传感器、湿度传感器等。

来源：中国人民共和国工业和信息化部2014-05-06

2.传感器类项目(5)mems多功能运动传感器研发重点支持同时具有陀螺仪和加速度计综合功能的mems传感器的研发，微陀螺仪量程在250/s，偏置误差0.5/s，微加速度传感器量程在5g，零点误差50mg

来源：北极星电力网2014-04-08

微系统传感器制造项目(年产mems微系统传感器1亿个)山东深川电气科技有限公司变频器项目(年产变频器20万台)山东迈格电子科技有限公司高性能磁合金电子材料及器件项目(年产高性能磁合金材料3000吨、磁性电子器件...年产高效煤炭洗选加工成套装备150台(套))山东凯欧电机科技有限公司交流伺服电机项目(年产交流伺服电机30万台)淄博元星电子有限公司智能电量传感器生产项目(总建筑面积3万平方米)山东齐芯微系统科技有限公司mems

来源：全景网2014-03-20

2014年，公司在核电方面将突破mems为核心的智能流体控制系统在重点领域的验证，形成核电暖通三代技术的核心系统集成能力，加强对设备成套、系统集成和系统解决方案的研发突破。

来源：中国工业新闻网2014-02-28

又如超常态制造，它包括巨系统制造极大尺度、超重件和设备;微纳制造微米和纳米量级的零件和系统制造，mems;超常环境制造极高(低)温、极高压、强能场、强能束;超精密精度优于亚微米级、粗超度优于几十纳米的超精密加工

来源：中国电子报 作者：莫大康2014-02-13

最近的tsensors峰会上也指出，无论半导体\mems或是sensor出现爆炸性的增长只会发生在一个足够低的价格点上。

来源：慧聪塑料网2014-02-07

其中包括基于mems技术的传感器、环境监测设备用气体传感器、流量传感器、湿度传感器等。此外，发布的《物联网十二五规划》中，在重点工程内容中也提到发展微型和智能传感器、无线传感器网络等。

来源：日经BP2014-01-21

此次，在电力统一采购服务和mems的基础上，大京又开始在lions品牌公寓中提供太阳能发电全量售电服务。...并且，该公司又从2013年6月起，在提供电力统一采购服务的新建lions品牌公寓中，标准采用管理公寓内能源利用的公寓能源管理系统（mems），并标配智能电表。

来源：工控中国2014-01-15

跟很多其他微型电子机械系统设备(mems)不同的是，这种基于镍合金的微型风车采用空气动力学设计，极其耐用。这种风车可以承受长时间的强风而不会损坏任何材料。...台湾微型电子机械制造商winmems已经同意将商业化这种微型风能技术。

来源：中国电子元器件网2014-01-14

其中包括基于mems技术的传感器、环境监测设备用气体传感器、流量传感器、湿度传感器等。此外，发布的《物联网十二五规划》中，在重点工程内容中也提到发展微型和智能传感器、无线传感器网络等。

来源：前瞻网2013-12-10

在医疗领域方面，新兴微机电系统传感器(mems)发展速度较快，表现抢眼。目前，医疗及生物医疗领域已经成为mems传感器最大的潜在市场。...目前，mems在全球医疗领域的市场份额以每年超过11%的速度增长，预计2015年将超过28亿美元，2012-2015年间的年均复合增长率为12%。

来源：国泰君安证券2013-11-19

唯一的半导体资本平台)、七星电子(半导体设备)、上海新阳(半导体化学品)、长电科技(封测龙头,与中芯国际有紧密合作,直接受益于海思、展讯和锐迪科的崛起),华天科技(tsv先进封装,wlc摄像头)、苏州固鍀(封测,mems

来源：讯石光通讯咨询网2013-11-07

基于mems技术的可变光衰减器(voa)是解决dwdm光纤通信网中信道均衡问题的主要途径之一，随着光纤通信由点到点传输向动态光网络的升级，mems voa的市场需求日益增长，然而，国内的mems voa

来源：证券日报2013-11-07

除了cmos 影像传感器芯片，mems(微机电系统)、指纹识别等与物联网密切相关的新兴高成长产品都是晶圆级封装的应用领域。...苹果新产品5s和三星下一代旗舰机型均加入指纹识别功能，mems也在各种消费电子领域应用广泛,都给晶圆级封装带来新的增长点。

来源：国际工业自动化网2013-11-05

mems的优势在于批量化的制造技术，成本低、便于集成、功耗低;但与此同时，mems传感器也存在体积过小目前只能采用准三维技术加工，加工精度相对较低的问题。...近年来随着物联网、智能手机、汽车电子、医疗电子等产业的快速发展，对陀螺仪、加速度传感器、mems麦克风等传感器件的需求不断增加，传感器产业rfid世界网进入快速发展阶段。传感器市场的需求方向是什么?

来源：Mouser公司2013-10-15

近年来，随着无线通信、电源效率、极度微型化(如透过 mems 传感器达到的迷你规格设计)以及嵌入式运算技术的不断演进，发展出越来越多适用于严苛工业环境的无线传感器网络(wsn)。

来源：物联网世界网2013-10-11

据ihs isuppli统计，2012年全球mems市场规模为84.1亿美元，预计2013年市场规模将达到90.9亿美元，同比增长8.1%，未来两年将保持两位数增长，这将支持传感器领域的发展。

来源：CIOAge.com2013-09-24

在一定的阶段里，我国的信息化产业的发展将围绕重创新、抓应用、建环境、促发展、见效益，以制造业信息化行动为主线，大力发展新兴制造业和民营制造业，重点攻克深海载人潜水器、微机电系统(mems)、数据库管理系统及其应用