2006-08-03

3.发展重点 3.1 传感器技术 （1）mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺

2006-07-17

世界各国对微型电子机械系统给予极高重视，美国宇航局很早就给予支持，美国国防部高级研究计划局等机构每年投资2000万美元，德国每年投资 7000万美元，日本通商产业省则拟订了一个十年 内投资2亿美元的计划，美国的硅谷已成为当今世界上mems

2006-06-15

　　mems传感器技术发展展望 　　传感器市场分析 　　征文起止时间 　　2006年5月1日—2006年8月30日 　　投稿方式 　　参赛者请将稿件以e-mail附件方式发送，并务必在主题及文章标题上方注明

2006-04-27

ic insights并且估计大约80%的传感器/制动器采用微机电系统(mems)技术来执行转换(transducer)的功能。...ti主要销售micro-mirror显示组件，hp则是mems喷墨式印表头的领导厂商。排名第三的是德国的robert bosch，该公司是全球最大的solid-state传感器供货商。

2006-04-19

该公司是使用mems技术生产3轴加速度传感器的第一大厂商，增产的目的是要扩大该产品在便携终端领域的应用。 该公司正在将产能由目前的年产3000万个扩大到1亿个。...该公司在纽约州伊萨卡镇的总部工厂生产mems传感器芯片，信号处理lsi则委托给硅代工厂商生产。然后再由专业封装公司进行组装。封装后的元件送回总公司，进行校正和检查。

2006-04-04

其工程部经理华亚平认为：“随着mems技术的发展，mems传感器将会越来越多地跨越价格的门槛走进消费电子市场。” 与青鸟元芯的mems加速传感器采用压阻原理不同，美新加速传感器采用

2006-01-18

2005aa404300 基于mems传感器的集装箱监测系统关键技术研究 中国国际海运集装箱（集团）股份有限公司 周受钦 200...多传感器及阵列传感器研究 西安交通大学 蒋庄德 300 2005aa404290 面向服务机器人的mems传感器集成化应用研究 哈尔滨工业大学 孙立宁 130

2005-10-28

； 　　以mems工艺为基础，以集成化、智能化和网络化技术为依托，加强制造工艺和新型传感器和仪表元器件的开发，使主导产品达到和接近国外同类产品的先进水平； 　　以增加品种、提高质量和经济效益为主要目标

2005-09-12

一方面双丰公司将继续在其主导的石油勘探等高新技术领域有所突破，在mems方面加大研发力度。该项目2004年和2005年都被列为国家863重点支持项目。...日前，威海高新区一家企业承担的高精度mems （数字地震检波器） 被再次列入2005年度国家863计划重点项目。这家企业就是威海双丰科技集团。

2005-07-21

发展重点 传感器技术 （1）mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺；封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺；新型传感器

2005-06-24

流量测试仪 　　贵州省都匀市智能水表有限责任公司、贵州鑫淼科技有限责任公司tm卡智能预付费冷水表 lxstm-15～25b 　　中国科学院水利部水土保持研究所自动在线泥沙测量仪 　　西安中星测控有限公司mems...　　厦门厦大海通自控有限公司循环流化床（cfb）锅炉先进控制系统 　　廊坊开发区大地工程检测技术开发有限公司djgw-2a钢筋位置测定仪 　　廊坊开发区大地工程检测技术开发有限公司djlc-a楼板测厚仪

2005-02-18

例如：当前我国正在重点开发的mems(微电子与微机械的结合)、momes(mems与微光学的结合)、智能传感器(mems与cpu、信息控制技术的结合)、生物化学传感器(mems与生物技术、电化学的结合)

2005-01-28

在其他电子基础产品领域，除半导体二极管、三极管、电力电子器件等传统的半导体设备应用领域之外，mems、saw等高频频率器件、光纤通信器件、敏感器件、绿色电池、ccd、ld、光盘、硬磁盘、片式无源电子元件等生产线上甚至表面贴装技术

2005-01-26

　　为了保护硬盘，mems技术的三轴加速度传感器日前首次应用到了笔记本电脑上。东芝1月19日上市的“dynabook ss”系列首次采用了该传感器。...过去，ibm曾经在笔记本电脑上配备过mems双轴加速度传感器。不过，双轴有时无法完全检测到下落的情况。

2004-12-31

工业过程控制传感器市场1998年为60亿美元，2008年将达到91亿美元，在新型传感器中，mems传感器是全世界增长最快的产品之一，近年来，mems市场销售年增长率为20%~30%，预计2005年的销售额将达到

2004-09-22

高新技术备受关注 　　更值得注意的是，全球传感器高技能化技术的发展现在越来越引起全球各生产商的关注。 　　目前，mems技术已经被广泛地应用于全球各类传感器的开发工作中。

2004-07-28

应用mems技术的微型仪器仪表被称为芯片上的仪器仪表，mems产品包括汽车加速计，压力、化学、流量传器、微光谱仪等产品，广泛应用于环境科学、航天、生物医疗、汽车工业、军事、工业控制等领域。 　

2004-05-19

millipede由ibm位于瑞士苏黎世的研究实验室开发，被认为非常适合移动设备，其想法是这种mems设备能够被插到当前的闪存槽内，但具备数千兆位的存储容量，功耗仅约为100mw。...millipede技术每平方英寸能存储114太位数据，数据传输率为800gbps。

2003-11-05

系统级芯片(soc)技术、神经网络芯片、砷化镓(gａaｓ)、锗硅gｅsｉ 技术、纳电子技术(基于量子效应的单电子器件和量子集成电路)、真空微电子技术、微电子机械系统(mems)技术和生物芯片等，正在成为人们研究的热点

2003-11-03

当前急需重点进行设计开发与占领的市场有(1)嵌入式微处理器和数字信号处理器(dsp) (2)信息安全和ic卡芯片(3)移动通信芯片组(4)数字音／视频产品专用集成电路(5)与网络紧密相关的集成电路(6) mems...大力发展集成电路核心技术, 重点突破系统集成芯片(soc)技术，优先发展设计业，大力开发集成电路产品，把设计业建设成为高效益、高效率的规模产业。