来源：大连化学物理研究所2018-06-15

大连化物所全固态柔性平面锂离子微型电容器研究获进展近年来，可穿戴、便携式电子设备以及微机电系统(如微型机器人、微型传感器)正朝着轻薄短小、多功能集成的方向快速发展，极大地促进了现代社会对于高功率密度、高能量密度

来源：雷锋网2018-03-19

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。...另外一般来说，现在的锂离子电池的工作温度范围有限，在40 度以上的高温下寿命会急剧缩短，安全性能会也出现很大的问题(所以特斯拉model s会有一套严格的电池温控系统，就是为此)。

来源：国家知识产权局2018-02-02

国家知识产权局2018年1月17日一、智能制造产业部分：3.3光电子制造关键装备3.3.1新型光通信器件制备3.3.2半导体照明制备3.3.3高效光伏电池制备3.3.4微机电系统传感器制备二、有关于可再生能源部分

来源：北极星环保网2018-01-26

3.2.1智能测控装置3.2.2关键智能基础零部件3.2.3智能加工、先进工艺和重大智能成套装备3.3光电子制造关键装备3.3.1新型光通信器件制备3.3.2半导体照明制备3.3.3高效光伏电池制备3.3.4微机电系统传感器制备

来源：北京日报2017-12-26

发展高性能光纤传感器、视觉传感器、微机电系统传感器、多参数复合传感器等工业用高端传感器。发展面向复杂工况的工业过程在线分析检测仪器。支持智能变送器、仪器仪表的研发和产业化。...发展高速高可靠性分布式控制系统(dcs)、快速响应多重冗余可编程逻辑控制器(plc)、跨平台数据采集系统(scada)等控制系统，智能伺服系统、高精度液压与气动系统等传动装置。

来源：河北省发改委2017-07-10

（4）第三代半导体材料及关键技术产业化，专用集成电路、工业控制软件，微机电系统技术研发及产业化。...（4）航空航天新材料及其零部件，地面控制系统、适航及安全保障系统、航空紧急救援设备及航空航天技术延伸配套产品。北斗兼容型导航终端以及数字化综合应用终端。

来源：头条号/信立科技2017-03-13

提供精确可靠的产品，包括助听器元件、mems（微机电系统）麦克风、扬声器、受话器、传感器、电容器、振荡器等。...stmicroelectronicss（意法半导体）传感器产品包括mems（微机电传感器，包括加速度计、陀螺仪、数字罗盘、惯性模块、压力传感器、湿度传感器和麦克风）、智能传感器、sensorhub、温度传感器和触摸传感器

来源：新华网2016-12-08

以微机电系统技术为基础的智能传感器发展水平已成为衡量一个国家是否具有国际竞争优势的重要标志。

来源：NE电气2016-09-30

电气工程与物理科学间的紧密联系与交叉仍然是今后电气工程学科的关键，并且将拓宽到生物系统、光子学、微机电系统(mems)。21世纪中的某些最重要的新装置、新系统和新技术将来自上述领域。3、快速变化。

来源：北极星环保网2016-09-26

整合行业资源,发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统

来源：北极星电力网2016-09-26

整合行业资源,发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统

来源：北极星太阳能光伏网2016-08-10

开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、mems（微机电系统）传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发,提升新兴领域核心装备自主研发能力。...开展太阳能光伏、太阳能热利用、风能、生物质能、地热能、海洋能、氢能、可再生能源综合利用等技术方向的系统、部件、装备、材料和平台的研究。

来源：华夏幸福基业股份有限公司2016-05-10

通过与微机电系统(mems)纳米机电系统(nems)技术的结合，纳米发动机产生的机械能将有望为纳米器件和纳米机器人提供动力。

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：仪器信息网2016-02-18

5.微机电系统技术以微米、纳米加工技术为基础制造的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微机电系统(mems)技术等。

来源：雷锋网2015-12-24

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。...另外一般来说，现在的锂离子电池的工作温度范围有限，在40 度以上的高温下寿命会急剧缩短，安全性能会也出现很大的问题(所以特斯拉model s会有一套严格的电池温控系统，就是为此)。

来源：中关村在线2015-11-20

如，基于微机电系统(mems)的传感器，它是传感器市场的主打产品。据科技市场研究机构ic-insights的数据显示，2014年全球所售传感器的80%均是基于mems技术。...在国外传感器的系统化演进道路上，传感器生产商之间以及与软件、系统集成、下游应用厂商间将出现大量的合作和并购，或建立联系更紧密的传感器生态

来源：前瞻产业研究院2015-11-16

2015年起，韩国未来科学创造部和产业通商资源部将投资370亿韩元(约合2.26亿元人民币)用于物联网核心技术以及微机电系统(mems)传感器芯片、宽带传感设备的研发。...智慧地球也称为智能地球，就是把感应器嵌入和装备到电网、铁路、桥梁、隧道、公路、建筑、供水系统、大坝、油气管道等各种物体中，并且被普遍连接，形成所谓物联网，然后将物联网与现有的互联网整合起来，实现人类社会与物理系统的整合

来源：传感器专家网微信2015-11-06

制造商们开始找寻创新应用，意法半导体与博世公司都认为，环境传感器将是接下来微机电系统传感器一大重要发展方向。意法半导体技术行销经理苏振隆表示，环境感测将是下一波mems传感器趋势。