来源：百度百科2012-02-28

七星集团主要产品包括：半导体工艺制造设备(微扩散系统、干法刻蚀系统、pecvd、质量流量控制器)、太阳能电池设备、tft-lcd设备、电真空设备、单晶炉、二次电池设备;各类高可靠、高稳定、高精密电阻器、

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-27

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能光伏电池生产设备

来源：中商情报网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(pecvd)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜光伏电池生产设备。

来源：中国电子报2012-02-24

此外,全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器等在行业获得广泛应用。...等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式pecvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-22

芦忠新：其实影响产品性能的，不只是pecvd，当然跟pvcpd设备肯定是有直接的关系。我个人认为目前薄膜电池最主要的是在理论上的突破。目前薄膜电池的发电率也在不断地攀升。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

但是，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd仍然依赖进口。目前国内光伏电池注流建线方案为国产和进口设备混搭，基本以国产为主。设备投资方面，一条25mw的标准生产线需34006000万元。...但它的自动化程度(自动装卸片)不如进口设备(进口设备如德国centrotherm公司产品，售价是国产设备的三倍左右)，平板型pecvd目前国内已有企业生产，有待进一步验证；第三，国产丝网印刷机(只有手动

来源：PV-Tech2012-01-17

48所作为唯一跻身光伏装备制造业全球十强的中国企业，在光伏装备领域具有雄厚的综合实力，在光伏装备研发方面突破了高温烧结、pecvd压力控制系统、丝网印刷机压力自适应系统等8项关键技术，取得重大科技成果6

来源：中电新闻网2012-01-12

一片１．１米１．４米的普通平板玻璃完成导电层覆膜后，进入ｐｅｃｖｄ反应腔，完成化学气象材料叠层结构的覆膜，即成为转化率１０％的薄膜太阳能电池。...中国造的ｐｅｃｖｄ性能领先于国外同类产品，价格大幅低于后者，国内薄膜太阳能电池产业化进程有望提速。７００兆瓦级水电机组励磁系统实现国产化２０１１年５月２９日，由国

来源：北极星太阳能光伏网2012-01-11

薄膜光伏电池中最具发展潜力的是非晶硅薄膜光伏电池，非晶硅材料是由气相淀积形成的，目前已被普遍采用的方法是等离子增强型化学气相淀积(pecvd)法。

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-15

据董秘徐加力表示："七星电子光伏设备源于公司核心的半导体集成电路设备工艺技术，产品的技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、pecvd、清洗机等工艺设备为主..."极大规模集成电路制造装备及成套工艺"专项（即"02专项"）中的"300mm90/65nm立式氧化炉/质量流量控制器研发及产业化项目"、"65nm超精细清洗设备研制与产业化项目"、"45-32nmlpcvd

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-21

pecvd等薄膜电池生产设备的研制、生产，将光伏生产设备成本降低30%。...在未来3-5年内，进一步支持大尺寸、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备的国产化，支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式pecvd，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和

来源：《光伏信息报》2011-11-14

其产品从宏观上涵盖了原生多晶硅料生产设备、硅片加工设备、晶体硅电池生产设备等，具体包括全自动硅芯/硅棒清洗设备、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀设备、等离子体刻蚀机、pecvd

来源：PV-Tech2011-11-10

莱宝光电表示系统和等离子体增强化学气相沉积(pecvd)共同运作使工具有相同的可扩展过程室布局，此外还提供薄膜电池和三结电池连接处的串联电池以及个体层。

来源：PV-Tech2011-11-07

这个工具的关键是pecvd光电直读光谱仪。光电直读光谱仪能够更好的控制薄膜的组织和高速处理的沉积物密度。该工具的理念是基于静态内联生产结合内基底板传导以及静态过程的优点。...德国制造商singulustechnologies收获了一份singularpecvd工具订单，这是新加坡太阳能研究所(solarenergyresearchinstituteofsingapore，seris

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-03

这次新闻发布会所展示的solarcell整厂整线生产设备，包括wis（外延片检查机）、texture（蚀刻机）、diffusion（磷扩散炉）、inoxside（化学晶边绝缘机）、pecvd（电浆辅助化学相沉积炉...）、printer（网印机）、fastfiringfurnance（fff，快速烧结炉）、ivtester&sorter（iv检测及分类机），以及texture至pecvd各主机衍接loader及unloader

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-01

的电池片检测中心，配套其pecvd的技术研发和测试。...为光伏制造大国，但在电池片生产核心设备如pecvd，烧结炉等关键设备依然未能很好实现国产化，也一直制约着我国电池片的生产成本。

来源：PV-Tech2011-10-26

电池生产系统包括硅片检测机、蚀刻机、磷扩散炉、电浆辅助化学气相沉积设备、双次丝网印刷设备、快速烧结炉、iv检测及分类机，以及texture至pecvd各主机衔接的装载、卸载设备。

来源：Solarbe2011-10-25

此次广运展示的光伏电池生产设备，包含硅片检查机、蚀刻机、磷扩散炉、化学晶边纪缘机、电浆辅助化学相沈积炉、网印机、快速烧结炉、iv检测及分类机以及texture至pecvd各主机衍接loader及unloader

来源：北极星太阳能光伏网2011-10-24

日前获悉，中国保绿光伏的生产线率先采用了先进的pecvd技术，该技术在产品收益率为90%的情况下可以将薄膜太阳能电池的转换效率提高到8%。

来源：北极星电力网2011-10-20

当前要重点加强太阳能级硅材料提纯，加强高效太阳电池、光伏系统以及多晶硅浇铸炉、线切割机、等离子体增强化学气相沉积设备(pecvd)等关键设备的研制，提高晶硅原材料的自给率。