来源：北极星环保网2018-01-26

3.2.1智能测控装置3.2.2关键智能基础零部件3.2.3智能加工、先进工艺和重大智能成套装备3.3光电子制造关键装备3.3.1新型光通信器件制备3.3.2半导体照明制备3.3.3高效光伏电池制备3.3.4微机电系统传感器制备

来源：北京日报2017-12-26

发展高性能光纤传感器、视觉传感器、微机电系统传感器、多参数复合传感器等工业用高端传感器。发展面向复杂工况的工业过程在线分析检测仪器。支持智能变送器、仪器仪表的研发和产业化。

来源：河北省发改委2017-07-10

（4）第三代半导体材料及关键技术产业化，专用集成电路、工业控制软件，微机电系统技术研发及产业化。

来源：头条号/信立科技2017-03-13

提供精确可靠的产品，包括助听器元件、mems（微机电系统）麦克风、扬声器、受话器、传感器、电容器、振荡器等。...stmicroelectronicss（意法半导体）传感器产品包括mems（微机电传感器，包括加速度计、陀螺仪、数字罗盘、惯性模块、压力传感器、湿度传感器和麦克风）、智能传感器、sensorhub、温度传感器和触摸传感器

来源：新华网2016-12-08

以微机电系统技术为基础的智能传感器发展水平已成为衡量一个国家是否具有国际竞争优势的重要标志。

来源：NE电气2016-09-30

电气工程与物理科学间的紧密联系与交叉仍然是今后电气工程学科的关键，并且将拓宽到生物系统、光子学、微机电系统(mems)。21世纪中的某些最重要的新装置、新系统和新技术将来自上述领域。3、快速变化。

来源：清洁高效燃煤发电2016-09-29

-射线荧光光谱仪(xrf)对不同催化剂关键污染物的含量进行测试，布鲁克x射线荧光光谱仪，tigers8;利用比表面积分析仪对催化剂进行比表面积及孔容、孔径等测试，美国康塔仪器，nova4000e;利用微机电液伺服压力试验机测试催化剂的机械强度

来源：北极星环保网2016-09-26

整合行业资源,发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统

来源：北极星电力网2016-09-26

整合行业资源,发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统

来源：北极星太阳能光伏网2016-08-10

开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、mems（微机电系统）传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发,提升新兴领域核心装备自主研发能力。

来源：北极星环保网2016-06-27

重点发展新型传感器、微机电传感器、自检校自诊断自补偿传感器，以及工业用温度、压力、流量、物位以及成分分析等高端传感器、变送器、智能仪器仪表和控制系统，离散工业用磁、光、电以及多参数复合传感器和质量检测系统

来源：电力专家联盟2016-06-08

主要培养从事微机电系统工程方面的设计制造、生产运行、科技开发和技术经济管理方面的人才。就业前景：本科毕业后能从事微机电系统工程方面的设计制造、生产运行、科技开发和技术经济管理方面工作。...热门院校：四川大学 哈尔滨工业大学 北京师范大学0802机械类080210t微机电系统工程培养目标：本专业是以机、电技术，尤其是微机械为基础的，综合多种学科领域技术的新型交叉学科。

来源：华夏幸福基业股份有限公司2016-05-10

通过与微机电系统(mems)纳米机电系统(nems)技术的结合，纳米发动机产生的机械能将有望为纳米器件和纳米机器人提供动力。

来源：北极星电力网2016-03-10

厦门泉州(安溪)经济合作区(湖里园)(湖里区政府)37.厦门强力巨彩led显示屏产业园项目(火炬管委会)38.汽车工业城零部件配套中心(四期)(集美区政府)39.佳格集团葵花油项目(海沧区政府)40.手机微机电

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：仪器信息网2016-02-18

5.微机电系统技术以微米、纳米加工技术为基础制造的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微机电系统(mems)技术等。

来源：雷锋网2015-12-24

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。

来源：中关村在线2015-11-20

如，基于微机电系统(mems)的传感器，它是传感器市场的主打产品。据科技市场研究机构ic-insights的数据显示，2014年全球所售传感器的80%均是基于mems技术。

来源：前瞻产业研究院2015-11-16

2015年起，韩国未来科学创造部和产业通商资源部将投资370亿韩元(约合2.26亿元人民币)用于物联网核心技术以及微机电系统(mems)传感器芯片、宽带传感设备的研发。