来源：无锡先导智能装备股份有限公司2018-05-28

21.7%，在运行批量型ald设备中国市场占有率80%以上！...江苏微导纳米装备股份有限公司首席技术官黎微明博士介绍了全球首发的kf6500原子层沉积（ald）钝化设备。

来源：能见Eknower2018-03-28

solid power目前拥有一座占地7000平方英尺的先进生产基地，具备新材料合成、小批量中试材料和电池生产，以及原型设备组装和表征能力。...针对传统全固态电池中固体电解质和licoo2之间界面电阻高，接触不良的缺陷，solid power公司的科学家们使用ald(原子层沉积技术)来解决这个问题。

来源：新能源投融资圈2018-01-17

一、以perc 为代表的新技术出现，成本继续下降1、设备增加有限，更新成本低新增两种设备，效率提升一个百分点：perc 电池，全称为钝化发射极和背面电池，其电池结构是从常规铝背场电池(bsf)结构自然衍生而来

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-11-03

江苏微导纳米装备科技有限公司针对光伏市场开发的夸父系列原子层沉积（ald）设备已经陆续交付客户并投入生产，n型双面电池的量产效率稳定保持在22%以上，效率绝对值较产线提高0.4%以上，量产极限产能可达5900

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-10-19

“黑硅”系统全自动在线rie“黑硅”技术超高产能和稳定工艺与金刚线切割技术完美结合，在降低成本的同时提升转换效率配合微导ald技术，为多晶光伏perc电池效率突破20%的提供最佳量产方案...-板式化学气相沉积/原子层沉积镀膜系统板式空间cvd和ald技术完美结合高质量单面镀al2o3钝化膜高产能、低生产成本与“黑硅”技术相结合，为进一步增强perc转换效率提供了最佳解决方案wr系列-板式rie

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-08-30

其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积（ald）技术，在不到一年的时间内就完成了从技术评估、设计定案、机械和工艺验证，直到完成最终的客户应用评估等工作，并于今年2月份在客户端获得了超21%...使用江苏微导的原子层沉积设备制备的氧化铝薄膜有着异于寻常的钝化特性，在不同的电池结构上都达到了远低于市场同类钝化设备薄膜厚度的表面钝化效果。

来源：能源新闻网2017-08-14

理想能源开发出原子层沉积（ald）法的alox膜沉积设备，采用托盘方式传输电池硅片，与其他供应商采用的硅片直接传输方式相比，可以将碎片率降到最低；同时最大程度减少由于碎片造成的停机时间。...新设备减少了硅片上下片次数，提高生产效率。

来源：中国光伏专委会2017-07-28

理想能源开发出原子层沉积（ald）法的alox膜沉积设备，采用托盘方式传输电池硅片，与其他供应商采用的硅片直接传输方式相比，可以将碎片率降到最低；同时最大程度减少由于碎片造成的停机时间。...新设备减少了硅片上下片次数，提高生产效率。

来源：南墅石墨2017-06-12

钝化技术要达到这么高的效率水平，实际上有两个基本技术，一个是钝化技术，现在三氧化二铝钝化是非常好的，过去钝化使用ald技术，比较复杂的设备，也比较贵，现在出现了等用离子体三氧化二铝钝化，产业化比较便宜。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-03-20

4月19-21日，江苏微导纳米装备科技有限公司将首次亮相snec上海国际光伏展，并进行ald和rie设备的产品发布。欢迎客户前来洽谈咨询。...微导rie黑硅与ald背钝化技术的结合，为晶硅太阳能电池效率突破、降低成本提供最佳量产方案。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-02-27

现有的ald量产技术都被国外的设备大厂如asm、amat、tel等垄断。微导正在开展的ald设备产品技术性能达到国际领先水平，打破国外垄断，填补了国内空白。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2016-12-23

生产的锂电池设备主要提供给松下等全球知名的多家动力锂电池生产厂家，3c测试设备可以为苹果、华为等高端智能手机进行测试。...同时，无锡先导投资发展有限公司正在与新吴区旺庄街道洽谈基于原子层沉积技术的ald微纳器件制造项目及云计算数据中心项目。该项目拟用地面积200亩，总投资25亿元，计划分两期建设。

来源：先导智能2016-12-16

生产的锂电池设备主要提供给松下等全球知名的多家动力锂电池生产厂家，3c测试设备可以为苹果、华为等高端智能手机进行测试。...同时，无锡先导投资发展有限公司正在与新吴区旺庄街道洽谈基于原子层沉积技术的ald微纳器件制造项目及云计算数据中心项目。该项目拟用地面积200亩，总投资25亿元，计划分两期建设。

来源：新华社2016-12-02

正泰研发的我国首台太阳能电池关键高端生产设备（pecvd），打破了西方长期垄断，自主研发的光伏背钝化ald设备和高效异质结hit-pecvd设备也处于国际领先水平，在光伏高端装备市场备受青睐。

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。...及时跟进高效率砷化镓及有机薄膜电池技术产业化进程；光伏生产专用设备技术，包括支持还原、氢化等多晶硅生产设备、大容量高效率多晶铸锭炉和单晶炉、多线切割机、硅片测试分选设备、多晶在线制绒设备、减压扩散炉、全自动丝网印刷机等的研发与产业化

来源：EnergyTrend2015-09-21

：以现有设备搭配独特氧化铝浆料的方式呈现perc的效果，这都将让pecvd不再独霸一方。...展望明年，除了主流机台仍旧订单满载之外，无法顺利购得机台的厂商为了不失去竞争力也会再做更多尝试，届时除了用pecvd镀氧化铝之外，也会有厂商选用ald技术，或是不愿冒机台风险的厂商可能会重新评估采用长兴材料集团的方式

来源：元器件交易网2014-12-17

kramer将新开发的制程技术叫做sprayld，因为是采用原子层沉积(ald)设备；他表示，团队已经在平面玻璃基板、软性塑胶基板以及半球形玻璃基板上尝试过喷涂技术，而且利用以上三种基板都成功产出了具功能的元件

来源：绿色未来2014-12-09

kramer把这项技术称之为喷涂ld（sprayld），改写于原子层沉积（ald）（将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法）。...kramer采用的喷涂ld设备不仅价格低廉，而且很多部件都是现成的。喷嘴用的是钢铁厂里冷却钢铁用的喷水嘴，喷枪是从艺术品商店里买来的。

来源：PV-Tech2014-11-24

领先的光伏设备供应商solaytec日前获得美国光伏制造商mission solar energy对于其inpassion ald设备的一份订单，该设备将用于n型硅双面太阳能电池生产。

来源：中国能源报2014-07-02

2013年又研制出的一批新的晶硅太阳能电池设备(在线湿法刻蚀设备、减压扩散炉、ald原子层沉积al2o3钝化膜设备、超细栅印刷设备、全自动太阳能电池测试分选机等)，2014年这批新设备将进入市场，这不仅使太阳能电池片生产线的产能和转换效率得到明显的提高