来源：欧瑞康2012-11-16

这种先进性得益于各种创新技术，例如用于非晶和微晶硅吸收层最优化的等离子体增强化学气相沉积技术(pecvd)设备和工艺，以及使用更环保更有效的清洁技术的氟气(f2)的kai反应腔，该技术清洁反应腔的速率更高

来源：21世纪网2012-11-14

上述销售合同包含了420台pecvd设备及90台pvd设备，大概能支持3gw非晶硅薄膜电池的产能。

来源：中关村在线网站2012-11-09

在扩大50多倍产值的前景下，努力研发生产制造和测试设备，尤其是mocvd设备，并大力支持合格产品的优先使用、推广，争取在下一波的大发展中用上自己生产的设备。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-11-07

与管式pecvd设备相比，平板式pecvd具备产能大、装卸片容易，易于自动化集成等优点，但到目前为止，国产设备市场上仍未真正出现相关的成熟产品。...从当前的市场状况可以看到，虽然在管式pecvd设备研制代孕上国产设备成绩喜人，但在该设备的高端领域平板pecvd设备开发方面，本土产品仍处于相对滞后的状态。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-31

曙海公司是专业从事设计、生产、销售硅薄膜太阳电池生产线和整套工艺及其核心专有设备等离子强化型化学气相薄膜沉积pecvd系统和磁控溅射系统pvd的高科技企业。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-30

公司产品非晶硅薄膜电池组件，主要的生产技术包括：使用lpcvd沉积前透明氧化物电极与背接触电极;使用pecvd技术沉积非晶硅薄膜;通过p1、p2与p3激光划刻技术把非晶硅电池分成串接的子电池。

来源：高工LED2012-10-24

记者 从大陆多家led封装厂家了解到，今年以来，三安光电不断加快芜湖工厂mocvd(led外延片生产设备)的投产速度，并用激进的低价策略获得下游封装厂家的认可，所有矛头直接对准了台湾led芯片龙头厂家晶元光电

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-10-24

高纯硅烷气还是生产高纯多晶硅（11n）的原料；用硅烷热分解（cvd）法生产的高纯多晶硅广泛应用于半导体行业。...该负责人还向记者透露：同时依托上市公司精功科技强大的装备设计制造能力，精功新材料与精功科技正在联合开发硅烷cvd炉和新型硅烷流化床。相信在不久的将来，精功会再为中国的光伏行业献上一份厚礼。

来源：中国太阳能光伏网2012-10-22

所以oerlikon早在20年前开发薄膜太阳技术及设备时，将其开发重点集中在pecvd设备超高频电源与反应器装置的开发。...据孙海燕博士介绍，非晶工艺和非晶微晶工艺的主要区别在于pecvd工艺，后者在镀膜的过程中需要40mh的超高频，以获得高沉积速率、高均匀性以及低损伤。

来源：电子信息产业网2012-10-12

而2011年期间中国led上游企业的投资规模急剧增大，mocvd机台数从2010年年底的300台猛增到2011年年底的720台，但大部分企业已经安装的mocvd机其产能未得到充分释放。

来源：工控网2012-10-11

十年中，我国的led产业，尤其是高亮度led产业在经历了从引进第一台四元系algainp/gaasmocvd设备和第一台ganmocvd设备，研发出第一片高亮红、黄光外延材料和第一片高亮蓝、绿光外延材料

来源：北极星电力网2012-10-10

1.1.6 高效照明产品及系统发光二极管(led)用大尺寸开盒即用蓝宝石、碳化硅等衬底、 高纯金属有机化合物(mo 源)、高纯氨气、新型高效荧光粉等开发及制造技术，生产型金属有机源化学气相沉积设备(mocvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-10-09

今年三安在高倍聚光光伏芯片上的产能是30mw～50mw(一台mocvd 在做)，明年将达到200mw，2015 年前将投资80 亿元于高倍聚光光伏，产能要达到1gw。平效率达到36~40%正态分布。

来源：挖贝网2012-10-08

早在上市之 初，曾被誉为中国光伏设备第一品牌的天龙光电，在外界看来有着众多着眼于未来的储备项目，比如多晶炉、mocvd，比如蓝宝石炉等。

来源：中国半导体行业协会2012-09-28

中国今年mocvd的需求将占全球的68%，但是中国的led芯片制造商仍需要将主要精力放在改进技术上，因此，台湾、日本和韩国的制造商将继续保持竞争优势。...2011年，亚洲地区mocvd(led外延片生产必需的设备)的需求占全球的80%，2012年占比将上升至90%。这主要是因为台湾，日本，韩国和中国是全球主要的led芯片生产中心。

来源：《新产业》2012-09-27

记者多方了解到，旭瑞光电自4月停止mocvd设备(led外延片生产设备)的生产后，生产环节只剩下led外延片的切割和测试，led外延片也是从台湾地区运来的。

来源：高工LED2012-09-24

目前公司有三分之一的mocvd是用于生产白光用芯片，今年下半年还有扩产计划。而早在今年2月，士兰明芯订购了6台mocvd设备。...士兰明芯总经理江忠永透露，这6台mocvd主要为量产白光用芯片做准备。目前设备已全部到货，正在调试安装。

来源：中国能源报 于孟林 姚仲秋2012-09-12

据介绍，截至目前，2000多万元一台的全球顶尖led专业生产设备mocvd(金属有机化合物化学气相淀积)，该公司就有32台。华磊光电公司已经申请了专利16项，其中发明专

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-09-07

装备方面有连续式间接hf-pecvd、管式直接lf-pecvd。(作者：和海一样的新能源)

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术(rie)。