来源：中国储能网2011-04-11

扩散是在石英管制成的高温扩散炉中进行。这样就在硅片上形成pn结。...中国兵装集团是我国最具活力的军民结合特大型军工集团之一，拥有长安、天威等50多家企业和研发机构，年销售收入超过2000亿元，主要经济指标列国防科技工业第一位，排名世界500强第275位。

来源：互联网2011-03-14

主办单位将努力为参展企业构建“展示成果、推广技术、洽谈贸易、加强交流、促进合作” 的平台。...太阳能电池生产设备与自动化技术交流 ;10 光伏系统智能并网技术交流;【展品范围】硅棒硅块硅锭生产设备:全套生产线、铸锭炉、坩埚、生长炉、其他相关设备;电 池 生 产 设 备:全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉

来源：华媒网2011-03-01

一个用创新来驱动的企业是有生命力的企业，相信尚德电力将在光伏产业领域不断前进。...如尚德自主研发的大口径闭管高温扩散炉，pluto电池专用生产设备和自动化设备等，将具有自主知识产权的创新工艺和方法以最快的速度投入产业化应用，取得了明显的效益。

来源：电力网新闻中心2011-02-22

搞设备的都知道，要想把新设备推进大企业的生产线上谈何容易。2003年无锡尚德建成，从国外引进一条二手生产线，随着技术的提升，急需对生产线上的扩散炉进行改造。...选定了行业，下一步就是选择哪个产品作为突破口，王俊朝首先选择了扩散炉。1990年国内第一台全自动扩散炉研制成功，王俊朝是该课题组组长，因此对扩散炉情有独钟，也自信满满。

来源：赛迪网-中国电子报2010-10-26

郭永兴：经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的9种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位

来源：北极星电力网新闻中心2010-10-15

中国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，管式pecvd

来源：中国电子报2009-03-19

据了解，目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口

2006-09-05

王俊朝告诉中国电子报记者，自2002年开始，通过和一流企业合作并引进先进的工艺技术，历经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池片关键生产设备，如制绒机、硅片清洗机、8英寸扩散炉、刻蚀机、psg祛除机、低温烘干炉...中国电子专用设备工业协会秘书长金存忠表示，由于国产半导体设备很难进入大的集成电路生产线，因此，企业为了生存，只能寻找有市场前景的产品。

2004-10-15

王勃华(信息产业部电子信息产品管理司) 1. 2003年国内半导体设备业基本情况 　　随着半导体设备市场的快速发展，我国从事半设备开发和生产的企业正在迅速增加，2003年2002年的...在国际合作方面，北京七星华创电子股份有限公司与法国合资成立的生产数字及模拟质量流量计的七星弗洛尔公司已正式开业；与美国aviza公司也已签订合作意向，共同开发8英寸立式扩散炉市场。 　　

2004-08-30

信息产业部2001年度电子信息产业发展基金重点支持项目——8英寸立式扩散炉在北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司研发成功并已进入设备调试阶段。...亮点一：我国半导体设备产量下降的同时销售额却大增 　　随着半导体设备市场的快速发展，我国从事半导体设备开发和生产的企业正在迅速增加，已从2002年的40个发展为2003年的接近60个(包括兼做单位)，

2003-03-22

经过多年的努力，国产前道工序用扩散炉、快速热处理设备、清洗机、匀胶显影设备等，后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等，材料制备设备中的单晶炉、研磨机、抛光机，部分净化设备和试验设备已经日渐成熟。...这与国外的设备企业一样，他们只研发这一两个关键技术。例如，

来源：《中国电子报》2007-03-14

在6-8英寸用光刻机、刻蚀机、离子注入机、立式扩散炉、快速热处理设备，氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备、划片机、键合机、集成电路自动封装系统等设备实用化的基础上，提供批量供应。...；加强企业和研发中心之间的合作。