来源：北极星电力网新闻中心2010-10-15

中国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，管式pecvd

来源：中国电子报2009-03-19

据了解，目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口

2006-09-05

王俊朝告诉中国电子报记者，自2002年开始，通过和一流企业合作并引进先进的工艺技术，历经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池片关键生产设备，如制绒机、硅片清洗机、8英寸扩散炉、刻蚀机、psg祛除机、低温烘干炉

2004-12-22

其次，增加一套世界先进的全自动太阳电池生产线，包括大型pecvd设备、扩散炉和丝网印刷机等，产量可达每小时1400片，年产多晶硅电池片50兆瓦。...天威英利新能源公司是目前国内唯一一家具备从原材料到终端产品的完整产业链的光伏企业。

2004-10-15

在国际合作方面，北京七星华创电子股份有限公司与法国合资成立的生产数字及模拟质量流量计的七星弗洛尔公司已正式开业；与美国aviza公司也已签订合作意向，共同开发8英寸立式扩散炉市场。 　　...但部分材料制备设备(6”单晶炉、研磨机、抛光机)、后道工序设备(6”划片机、塑封机、自动封装系统、模具)以及6”前道工序中的扩散设备、快速热处理设备、清洗设备等已逐步进入集成电路生产领域。 　　

2004-08-30

信息产业部2001年度电子信息产业发展基金重点支持项目——8英寸立式扩散炉在北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司研发成功并已进入设备调试阶段。...亮点二：国际合作全面开花 　　在国际合作方面，北京七星华创电子股份有限公司与法国合资成立的生产数字及模拟质量流量计的七星弗洛尔公司已正式开业；与美国aviza公司也已签订合作意向，共同开发8英寸立式扩散炉市场

2003-07-31

距震中较近的冲电气公司宫城半导件厂，在地震中一些扩散炉的玻璃管发生了破裂。该厂是冲电气的半导体前工序生产厂。以扩散、光刻等工序为主。在半导体生产线中，较为精密的是光刻机。...此外，摩托罗拉在岩手县的独资企业东北半导体厂在此次地震中也有局部损坏，现已停产。截止到28日这些半导体厂还在检修设备。

2003-03-22

经过多年的努力，国产前道工序用扩散炉、快速热处理设备、清洗机、匀胶显影设备等，后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等，材料制备设备中的单晶炉、研磨机、抛光机，部分净化设备和试验设备已经日渐成熟。

来源：《中国电子报》2007-03-14

在6-8英寸用光刻机、刻蚀机、离子注入机、立式扩散炉、快速热处理设备，氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备、划片机、键合机、集成电路自动封装系统等设备实用化的基础上，提供批量供应。...宽禁带化合物半导体材料，新型互连材料等材料；努力掌握6-8英寸集成电路设备的制造技术；力争实现12英寸65纳米激光步进光刻机、大角度倾斜大剂量离子注入机、金属氧化物化学气相沉积设备，高密度等离子体刻蚀机、大尺寸扩散炉等重大关键装备的产业化