来源：NE电气2016-09-30

电气工程与物理科学间的紧密联系与交叉仍然是今后电气工程学科的关键，并且将拓宽到生物系统、光子学、微机电系统(mems)。21世纪中的某些最重要的新装置、新系统和新技术将来自上述领域。3、快速变化。

来源：北极星环保网2016-09-26

发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统(mems

来源：北极星电力网2016-09-26

发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统(mems

来源：中国智能制造网2016-09-22

主要有以下几种：mems传感器：在维持飞行控制中起到关键的作用。多轴磁传感器：维持方向和飞行路径的关键。多轴磁传感器可通过感知方向将数据传输至中央处理器，从而指示方向和速度。...有的传感器mems芯片中已经集成了dsp，与之搭配的话，更加简单的8位单片机也可以做到。无人机的五官：传感器随着无人机的功能不断增加，传感器技术在新型无人机技术及解决方案中应用越来越多。

来源：搜狐中翼网2016-09-12

像任天堂wii控制器或iphone屏幕位置，这些小的mems传感器在维持飞行控制中起到关键的作用。mems加速度传感器有多种方式感知运动姿态，一种类型的技术能够感知微型集成电路的微小运动。

来源：中国智能制造网2016-09-08

其中，传感器间的联动、环境感知、场景联动将成为未来智能家居向用户提供智能化服务的重要技术基础，mems传感器技术作为智能家居领域产品的关键技术，将提供高性能、低成本的技术解决方案，将加速智能家居领域产品的快速发展

来源：北极星太阳能光伏网2016-08-10

开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、mems（微机电系统）传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发,提升新兴领域核心装备自主研发能力。

来源：车云网2016-08-02

比如能够为自动驾驶提供3d定位的惯性传感器与气压传感器，惯性传感器负责检测水平方向变化，而气压传感器则可以用来检测车辆高度的变化；再比如用在主动安全系统中的各式各样mems传感器。

来源：北极星输配电网2016-05-12

与此同时，在超级电容最早实现产业化运作的大本营智能仪器及高端电子消费品市场，mems微型电容器的创新概念迅速窜红。

来源：华夏幸福基业股份有限公司2016-05-10

通过与微机电系统(mems)纳米机电系统(nems)技术的结合，纳米发动机产生的机械能将有望为纳米器件和纳米机器人提供动力。

来源：华泰证券研究所2016-03-23

盾安环境坚持高端智能制造转型升级，在布局mems传感器、人机协作机器人的基础上，进一步向新能源汽车热管理系统拓展。我国新能源汽车产业2015年进入成长期。

来源：北极星输配电网2016-03-23

据ihs2015年11月份数据，消费和移动电子市场仍然是驱动mems增长的龙头，不但在总的mems市场中所占份额最大，其年复合增长率（2014-2019）达到了13.4%，相比之下同期总的mems市场年复合增长率则为

来源：中国证券网2016-03-23

作为国内最早的mems公司，苏州敏芯一直专注mems麦克风，并在去年推出了基于压力传感的压力触控传感器。...据ihs2015年11月份数据，消费和移动电子市场仍然是驱动mems增长的龙头，不但在总的mems市场中所占份额最大，其年复合增长率（2014-2019）达到了13.4%，相比之下同期总的mems市场年复合增长率则为

来源：北极星电力网2016-03-10

安溪)经济合作区(湖里园)(湖里区政府)37.厦门强力巨彩led显示屏产业园项目(火炬管委会)38.汽车工业城零部件配套中心(四期)(集美区政府)39.佳格集团葵花油项目(海沧区政府)40.手机微机电(mems

来源：仪器信息网2016-03-02

东北地区：以沈阳、长春、哈尔滨为主，主要生产mems力敏传感器、气敏传感器、湿敏传感器。京津区域：主要以高校为主，从事新型传感器的研发，在某些领域填补国内空白。北京已建立微米/纳米国家重点实验室。

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：仪器信息网2016-02-25

除了该类微型光谱仪以外，滨松的mems-ftir(mems傅里叶变换红外光谱)、mems-fpi(mems布里珀罗腔型近红外光谱探测器)等微型化产品也都受到了高度的关注。

来源：仪器信息网2016-02-18

5.微机电系统技术以微米、纳米加工技术为基础制造的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微机电系统(mems)技术等。

来源：雷锋网2015-12-24

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。