来源：新华日报2011-05-09

近两年，江苏又布局了一批光伏装备重大项目，光伏产业核心装备气相沉积设备、高温扩散炉等实现自主制造，国产化率已达70%。...常州华盛天龙研制的多晶硅浇铸炉填补国内空白，打破国外垄断，价格只有国外的1/3。

来源：中国电子报2011-04-21

通过技术升级，扩散炉、pecvd设备、清洗机、高温烧结炉等关键工艺装备的各项技术性能指标均达到国内领先、国际一流的水平。 第三，大生产有能力加快装备的研发进度。...近几年来，48所通过在大生产运行中积极探索先进工艺，对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进

来源：中国储能网2011-04-11

然后加工太阳能电池片，在硅片上进行掺杂和扩散，一般掺杂物为微量的硼、磷、锑等。扩散是在石英管制成的高温扩散炉中进行。这样就在硅片上形成pn结。

来源：互联网2011-03-14

、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、节丝网印刷机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备;硅片 晶圆 生产 设备:全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备;电池板 组件生产设备:全套生产线、测试设备

来源：国际新能源网2011-03-09

amtech总裁、首席执行官j.s. whang表示，晶硅扩散炉的排名，反应了我们在高效率太阳能扩散炉中的科技领先地位，这也是我们的核心竞争力。...40%，2010年太阳能设备中晶体硅扩散炉领域排名第一。

来源：华媒网2011-03-01

如尚德自主研发的大口径闭管高温扩散炉，pluto电池专用生产设备和自动化设备等，将具有自主知识产权的创新工艺和方法以最快的速度投入产业化应用，取得了明显的效益。

来源：电力网新闻中心2011-02-22

选定了行业，下一步就是选择哪个产品作为突破口，王俊朝首先选择了扩散炉。1990年国内第一台全自动扩散炉研制成功，王俊朝是该课题组组长，因此对扩散炉情有独钟，也自信满满。

来源：中华工控网2011-01-26

太阳能电池模块中的各项工艺制程主要包括单多晶硅的生成、切片机、清洗机、扩散炉、刻蚀机、镀膜机、印刷丝网、包装等，而这些设备的组成架构大多数为人机界面通过网络交换机与下端的plc进行沟通。

来源：招商证券2010-12-17

我们预计明年公司扩散炉和pecvd产值4-5亿(占国内市场25%份额)，按30%净利润率计算，可贡献1.2-1.5亿净利润，约0.2元eps。

来源：赛迪网-中国电子报2010-10-26

郭永兴：经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的9种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位

来源：北极星电力网新闻中心2010-10-15

中国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，管式pecvd

来源：环球光伏网2010-07-22

该所研发的高温扩散炉和等离子刻蚀机两种产品，多年在国内市场占有率高达80%。紧跟国际最新技术，该所还率先在国内研制成功首台八英寸程控扩散炉、icp等离子刻蚀机等光伏关键装备。 　　

来源：中国电子报2009-03-19

据了解，目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口

2006-09-05

王俊朝告诉中国电子报记者，自2002年开始，通过和一流企业合作并引进先进的工艺技术，历经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池片关键生产设备，如制绒机、硅片清洗机、8英寸扩散炉、刻蚀机、psg祛除机、低温烘干炉

2004-12-22

其次，增加一套世界先进的全自动太阳电池生产线，包括大型pecvd设备、扩散炉和丝网印刷机等，产量可达每小时1400片，年产多晶硅电池片50兆瓦。...这条生产线集中了目前世界最优秀的生产设备和工艺技术，此次扩建，增加多晶硅铸锭炉20台，破锭机3台，多线切割机5台，达到年产多晶硅片70兆瓦。 　　

2004-10-15

在国际合作方面，北京七星华创电子股份有限公司与法国合资成立的生产数字及模拟质量流量计的七星弗洛尔公司已正式开业；与美国aviza公司也已签订合作意向，共同开发8英寸立式扩散炉市场。 　　...但部分材料制备设备(6”单晶炉、研磨机、抛光机)、后道工序设备(6”划片机、塑封机、自动封装系统、模具)以及6”前道工序中的扩散设备、快速热处理设备、清洗设备等已逐步进入集成电路生产领域。 　　

2004-08-30

信息产业部2001年度电子信息产业发展基金重点支持项目——8英寸立式扩散炉在北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司研发成功并已进入设备调试阶段。...亮点二：国际合作全面开花 　　在国际合作方面，北京七星华创电子股份有限公司与法国合资成立的生产数字及模拟质量流量计的七星弗洛尔公司已正式开业；与美国aviza公司也已签订合作意向，共同开发8英寸立式扩散炉市场

2003-07-31

距震中较近的冲电气公司宫城半导件厂，在地震中一些扩散炉的玻璃管发生了破裂。该厂是冲电气的半导体前工序生产厂。以扩散、光刻等工序为主。在半导体生产线中，较为精密的是光刻机。

2003-03-22

经过多年的努力，国产前道工序用扩散炉、快速热处理设备、清洗机、匀胶显影设备等，后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等，材料制备设备中的单晶炉、研磨机、抛光机，部分净化设备和试验设备已经日渐成熟。

来源：《中国电子报》2007-03-14

在6-8英寸用光刻机、刻蚀机、离子注入机、立式扩散炉、快速热处理设备，氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备、划片机、键合机、集成电路自动封装系统等设备实用化的基础上，提供批量供应。...宽禁带化合物半导体材料，新型互连材料等材料；努力掌握6-8英寸集成电路设备的制造技术；力争实现12英寸65纳米激光步进光刻机、大角度倾斜大剂量离子注入机、金属氧化物化学气相沉积设备，高密度等离子体刻蚀机、大尺寸扩散炉等重大关键装备的产业化