来源：国家电投2024-11-29

差异化布局核技术应用产业，推动氢离子注入、医用同位素生产等创新成果加速转化。做强做优核环保产业，为国家电投集团核能产业发展提供支持保障。

来源：国家电投2024-10-12

差异化布局核技术应用产业，推动氢离子注入、医用同位素生产等创新成果加速转化。做强做优核环保产业，为国家电投核能产业发展提供支持保障。

来源：金升阳2023-12-13

（二）高端导轨电源：高精度、低纹波经过单晶硅片制造后，进入薄膜沉积、光刻、离子注入等前道工艺。这时设备的工艺环境相对好一些，其设备电源更看重精度、纹波等参数。

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-10

为了进一步延展嘉拓智能产品线，在协同公司材料设备需求的同时服务光伏领域客户，嘉拓智能通过控股子公司东莞嘉拓日晟智能科技有限公司发起设立无锡嘉拓，生产光伏电池片关键工艺设备，主要包括：离子注入机、管式pecvd

来源：广东省工业和信息化厅2022-09-05

、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备以及全自动光学检测设备等各类高性能光伏电池与组件生产和检测测试仪器。...重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机

来源：工业水处理2022-04-22

1 水质及水量1.1设计水量及水质泰兴某光电建设规模为年产2.1 gw n型单晶双面太阳能电池，废水主要来自生产工序硅片制绒及清洗、扩散制结、湿法刻蚀、离子注入、退火、pecvd制氧化铝和氮化硅膜、丝网印刷

来源：清华大学学报2021-05-24

涂层加工方法可以分为电镀、化学镀、气相沉积法、热处理法、离子注入法和喷涂法等。对相同成分的涂层采用不同的方法进行处理，导电性和耐久性会受到不同的影响。...复合涂层结合了金属涂层和非金属涂层的优点，在具有一定耐蚀性的基础上，可以保持良好的导电性，但是掺杂的金属离子也会影响涂层的表面微观结构。

来源：集邦新能源网2021-02-02

（2）topcon：图中黄色色块为topcon在perc基础产线上改变或者增加的工艺，可以最大化的利用现有perc产线和工艺经验积累，增加的设备包括lvcvd/pecvd、离子注入机、退火炉、刻蚀设备等...（1）perc+：perc+是在基础的perc产线（下图左边蓝色色块）上增加若干设备，已达到改善电池性能的目的，图中我们以激光se、光再生（绿色色块）作为例子，对应的需要增加激光掺杂设备、光注入/电注入设备

来源：中核集团2020-12-28

同时项目形成的高压加速器技术，可应用于离子注入、核材料辐照筛选、材料改性、中子产生等多领域，对中核集团核技术应用产业及国内相关行业的发展起到积极的促进作用。

来源：贺利氏可再生能源2020-07-10

一种是用lpcvd原位（或离位）掺杂形成多晶硅，由于lpcvd沉积过程会带来绕镀问题，使电池性能退化，因此可选择离位掺杂，即lpcvd形成本征多晶后再进行扩散或离子注入掺杂，形成重掺杂的多晶硅；另一种是使用

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-06-23

可以说，应用材料的薄膜沉积（cvd、pvd 等）、氧化、刻蚀、离子注入、快速热处理、化学机械平整（cmp）、计量检验等设备基本覆盖了集成电路生产的全部环节。

来源：北极星储能网2020-06-03

重点为高端芯片产品（处理器芯片、存储器芯片、通信芯片、高端传感器芯片、模拟或数模混合芯片等）；高端集成电路装备产品（光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、湿法设备、扩散设备、抛光设备、离子注入设备、检测设备等）

来源：摩尔光伏2020-05-25

同样，通过掩膜可以形成选择性的离子注入掺杂。离子注入后，需要进行一步...2011年，suniva首先开发了离子注入太阳电池技术，实现了p型单晶电池18.6%的转换效率并将其推向商业化生产。当然，离子注入技术也可以被应用到ibc电池的制备中。

来源：OFweek2020-05-14

根据研究人员的研究，通过离子注入技术将金和银纳米颗粒嵌入二氧化钛中。依赖纳米颗粒的细胞效率及其等离激元诱导的光电效应显示，其效率（相对而言）比未植入的细胞高89％。...科学家们还描述了钙钛矿电池应用中如何通过等离子激元进行偶极子－偶极子耦合的热电子注入，光捕获和能量流向调制。他们的发现发表在《高等科学》杂志上的论文《等离子钙钛矿太阳能电池的最新进展》中。

来源：摩尔光伏2020-02-17

减少电学损失则需要从提高硅片质量、改善pn结形成技术(如离子注入等)、新型钝化材料与技术(如topcon、polo等)、金属接触技术等方面入手［1］。

来源：韦伯咨询2019-12-25

酸性废气主要来源于工艺流程中使用各种酸液刻蚀、清洗过程，碱性废气主要来源于光刻、显影、化学机械抛光等工艺，有机废气主要来源于涂胶、显影工序以及各工序使用有机溶剂清洗过程，有毒有害废气主要来自于化学气相沉积、干法 刻蚀和离子注入等工序

来源：摩尔光伏2019-10-18

减少电学损失则需要从提高硅片质量、改善pn结形成技术(如离子注入等)、新型钝化材料与技术(如topcon、polo等)、金属接触技术等方面入手［1］。

来源：光伏們2019-09-19

另外，王文静认为，topcon技术在bbr3扩散、硼离子注入、制备双面掺杂层、 p-topcon电池的掺硼多晶硅等方面仍面临着较大的挑战。

来源：中核集团2019-09-18

北京大学教授翟茂林：辐照应用技术通常应用于医疗卫生用品消毒灭菌、食品辐射加工、农作物诱变育种、杀虫灭菌、离子注入、纳米材料制备、环保“三废”（废水、废气和固废）处理等，已成为民用非动力核技术中一大支柱性产业

来源：中核集团2019-05-28

该项目形成的高压加速器技术，也可应用于离子注入、核材料辐照筛选、材料改性、中子产生等多个领域，对中核集团核技术应用产业及国内相关行业的发展起到积极的促进作用。...据悉，在加速器研制过程中，项目团队攻克了强流离子产生、强流离子束加速和非拦截束流测量等关键技术。该加速器可以产生质子和氦离子等多种束流，运行稳定可靠。