来源：金升阳2023-12-13

（二）高端导轨电源：高精度、低纹波经过单晶硅片制造后，进入薄膜沉积、光刻、离子注入等前道工艺。这时设备的工艺环境相对好一些，其设备电源更看重精度、纹波等参数。

来源：工业水处理2022-04-22

1 水质及水量1.1设计水量及水质泰兴某光电建设规模为年产2.1 gw n型单晶双面太阳能电池，废水主要来自生产工序硅片制绒及清洗、扩散制结、湿法刻蚀、离子注入、退火、pecvd制氧化铝和氮化硅膜、丝网印刷

来源：清华大学学报2021-05-24

涂层加工方法可以分为电镀、化学镀、气相沉积法、热处理法、离子注入法和喷涂法等。对相同成分的涂层采用不同的方法进行处理，导电性和耐久性会受到不同的影响。

来源：中核集团2020-12-28

同时项目形成的高压加速器技术，可应用于离子注入、核材料辐照筛选、材料改性、中子产生等多领域，对中核集团核技术应用产业及国内相关行业的发展起到积极的促进作用。

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-06-23

可以说，应用材料的薄膜沉积（cvd、pvd 等）、氧化、刻蚀、离子注入、快速热处理、化学机械平整（cmp）、计量检验等设备基本覆盖了集成电路生产的全部环节。

来源：北极星储能网2020-06-03

重点为高端芯片产品（处理器芯片、存储器芯片、通信芯片、高端传感器芯片、模拟或数模混合芯片等）；高端集成电路装备产品（光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、湿法设备、扩散设备、抛光设备、离子注入设备、检测设备等）

来源：摩尔光伏2020-05-25

同样，通过掩膜可以形成选择性的离子注入掺杂。离子注入后，需要进行一步...2011年，suniva首先开发了离子注入太阳电池技术，实现了p型单晶电池18.6%的转换效率并将其推向商业化生产。当然，离子注入技术也可以被应用到ibc电池的制备中。

来源：OFweek2020-05-14

根据研究人员的研究，通过离子注入技术将金和银纳米颗粒嵌入二氧化钛中。依赖纳米颗粒的细胞效率及其等离激元诱导的光电效应显示，其效率（相对而言）比未植入的细胞高89％。

来源：摩尔光伏2020-02-17

减少电学损失则需要从提高硅片质量、改善pn结形成技术(如离子注入等)、新型钝化材料与技术(如topcon、polo等)、金属接触技术等方面入手［1］。

来源：韦伯咨询2019-12-25

酸性废气主要来源于工艺流程中使用各种酸液刻蚀、清洗过程，碱性废气主要来源于光刻、显影、化学机械抛光等工艺，有机废气主要来源于涂胶、显影工序以及各工序使用有机溶剂清洗过程，有毒有害废气主要来自于化学气相沉积、干法 刻蚀和离子注入等工序

来源：摩尔光伏2019-10-18

减少电学损失则需要从提高硅片质量、改善pn结形成技术(如离子注入等)、新型钝化材料与技术(如topcon、polo等)、金属接触技术等方面入手［1］。

来源：光伏們2019-09-19

另外，王文静认为，topcon技术在bbr3扩散、硼离子注入、制备双面掺杂层、 p-topcon电池的掺硼多晶硅等方面仍面临着较大的挑战。

来源：中核集团2019-09-18

北京大学教授翟茂林：辐照应用技术通常应用于医疗卫生用品消毒灭菌、食品辐射加工、农作物诱变育种、杀虫灭菌、离子注入、纳米材料制备、环保“三废”（废水、废气和固废）处理等，已成为民用非动力核技术中一大支柱性产业

来源：中核集团2019-05-28

该项目形成的高压加速器技术，也可应用于离子注入、核材料辐照筛选、材料改性、中子产生等多个领域，对中核集团核技术应用产业及国内相关行业的发展起到积极的促进作用。

来源：材料导报、摩尔光伏2019-05-13

减少电学损失则需要从提高硅片质量、改善pn结形成技术(如离子注入等)、新型钝化材料与技术(如topcon、polo等)、金属接触技术等方面入手。

来源：光伏测试网2019-03-28

减少电学损失则需要从提高硅片质量、改善pn结形成技术(如离子注入等)、新型钝化材料与技术(如topcon、polo等)、金属接触技术等方面入手。

来源：经济日报2018-09-25

李守武说，近年来电科装备围绕做强做优集成电路核心装备，建立了关键装备工艺开发验证平台和装备共性技术研发平台，大力推进集成电路核心装备发展，攻克了离子注入设备、化学机械抛光设备等部分关键技术，同时辐射带动了新型平板显示器装备

来源：北京纳米能源与系统研究所2018-06-14

如在钛基材料的表面通过离子注入的方式引入银、锌等纳米颗粒，可由于在银、锌纳米颗粒的周围与钛基底发生微观的电化学反应而使得钛基底获得抗菌性能。

来源：摩尔光伏2018-05-28

目前选择性发射极的主要实现工艺有氧化物掩膜法、丝网印刷硅墨水法、离子注入法和激光掺杂法等，其中激光psg掺杂法由于其工艺过程简单，从图1可以看出从太阳电池常规产线升级成激光掺杂选择性发射极太阳电池生产线

来源：科华恒盛2018-05-14

以电脑处理器（cpu）为例，从沙子到芯片，需要经过提纯硅、切割成硅圆片、研磨硅圆片、涂抹光刻胶、蚀刻、离子注入、构建晶体管之间连接电路等5000道复杂工序，对生产设备、环境有严苛的要求。