来源:电子产品世界2013-11-19
另外,英飞凌也在致力于利用薄型sic基片的sic二极管的研发。...其背景在于,越是低耐压产品,基片上层积的漂移层就越薄,因此在sic二极管的导通电阻中,基片的电阻成分所占比例就越大。目前,sic基片的厚度以350m为主流,超薄产品也要达到230m左右。
来源:日经BP社2013-11-15
首先,将单晶sic基片贴合在多晶sic基片上。然后,一边加热一边将单晶基片从多晶基片上剥离,剥离时使单晶基片的一部分留在多晶基片上。