类别:来源:电子工程2015-09-14 14:54:22
、陀螺仪传感器、喷墨打印机头传感器、baw过滤器、dlp传感器、微型热幅射测量计、时钟传感器、水探测传感器、气化学传感器、光mems(通信)传感器、开关电容传感器、片上颜色传感器、热传感器、mems flat
类别:物联网来源:控制工程网2012-01-10 11:03:51
:如用微硅电容传感器、微硅质量流量传感器、航空航天用动态传感器、微传感器,汽车专用压力、加速度传感器,环保用微化学传感器等。
类别:来源:中国机械工业集团公司2011-08-24 09:22:29
该项目采用先进的微电子和微机械加工相结合的工艺技术,在硅电容传感器设计、制造工艺技术、传感器封装结构等方面具有创新性,解决了硅电容传感器研制的工艺技术难题,开发研制出完全拥有自主知识产权的新型高性能硅电容差压传感器产品
类别:来源:仪表网2011-05-13 11:02:06
”、“可靠性强化试验”等关键技术,在硅电容传感器批量测试系统的“夹具设计”和“补偿方法”、传感器高效高压试验装置的“复合波形控制”等方面具有创新性。
类别:物联网来源:电子产品世界2010-10-28 16:40:43
传感器技术 (1)mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺:深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺:如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器:如用微硅电容传感器
类别:来源:中国传动网2010-10-14 15:42:36
发展重点 传感器技术 (1)mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺:深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺:如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器:如用微硅电容传感器
类别:来源:2005-05-10 00:00:00
电容传感器由绝缘电极和装有测量介质的圆柱形金属容器组成。当料位上升时,因非导电物料的介电常数明显小于空气的介电常数,所以电容量随着物料高度的变化而变化。...它一般选用硅压力测压传感器将测量到的压力转换成电信号,再经放大电路放大和补偿电路补偿,最后以4~20ma或0~10ma电流方式输出。
类别:物联网来源:2004-08-17 00:00:00
目前,利用cmos工艺兼容的集成湿度传感器将敏感电容和处理电路集成在一块硅片上,通过coventor模拟得到全量程总的敏感湿敏电容变化值,同时提高了可靠性并降低了成本,随着微机械加工技术的逐步发展,使得以