来源：国家电网报2025-01-14

2024年，中国电科院在宽频微机电系统加工技术（mems）自取能传感器、高性能磁敏材料和传感器核心组件等核心技术方面实现突破。...升级后，该平台总体计算效率提高10倍以上，支持的最大数据规模从8万节点大幅提升到20万节点，可支持超1000人同步在线计算，支撑超20亿千瓦新能源并网和16亿千瓦负荷保供分析，并实现了电磁暂态与机电暂态一体化仿真分析

来源：国家电网报2024-12-24

近日获悉，由中国电力科学研究院有限公司牵头，国网四川省电力公司、中国科学院物理研究所、西安交通大学等9家单位和高校共同承担的国家重点研发计划项目“高灵敏微机电系统加工技术（mems）磁敏感元件及传感器”

来源：福建省工信厅2024-08-27

支持光学元件、微机电系统（mems）传感器、视频soc芯片等基础元器件研发应用。重点提升柔性显

来源：湖北省人民政府2024-07-05

重点发展原生多模态通用大模型、类脑智能、群体智能、aiforscience，加快神经元芯片、类脑芯片、ai算力芯片、智能传感器、高性能微机电系统等高端元器件研发，推进多模态模型、通用人工智能垂直领域模型在智能终端领域的应用

来源：国家电网报2024-02-20

他们相继突破了现有声振传感器压电换能铅基材料的无铅化替代、声振传感器微机电结构设计及整体装置微加工制造等多项技术难题。用于制备声振传感器模块的压电换能材料是研发噪声监测装置的关键。

来源：国家电网报2023-12-27

项目组定向开展了铌酸钾钠基无铅压电材料性能调控、微机电系统压电传声器设计及低功耗无线通信模组等研究，全面突破了常规电容式传声器防水防尘性能不足的限制，研制出高耐候免维护噪声监测装置，实现了高端噪声监测装置的自主可控

来源：国家电网报2023-11-27

海北供电公司从今年年初开始研发这一新型避雷器，通过开展防炸裂材料、内置微机电（mems）温度监测等关键技术研究，逐步完善了设备的性能和稳定性，填补了省内相关领域的技术空白。

来源：江西省工业和信息化厅2023-10-27

聚焦微机电系统（mems）、互补金属氧化物半导

来源：国家能源集团2023-09-28

智慧环保煤炭漏斗车还创新研发了车载智能监测系统，研制基于微机电技术的全数字一体化传感器并内置前端算法，传感器具有低功耗睡眠模式和唤醒策略，实现系统超低功耗和电池供电工作条件，同时集成gps/北斗双模精确定位技术

来源：北京国际风能大会暨展览会CWP2023-09-27

上海拜安传感技术有限公司展位号：w1-a20上海拜安传感技术有限公司自主研发的光纤微机电芯片（mems）传感器具有宽温、宽频、高精度、抗电磁干扰和长期精准测量等优点。

来源：国家电网报2023-09-06

该装置突破了现有铅基材料的无铅化替代、声振传感器微机电结构设计及微加工制造等技术瓶颈，由低成本、微型化、高可靠的自供能压电传感器与无铅噪声监测器组成。

来源：电网头条2023-09-04

该装置重点突破了现有铅基材料的无铅化替代、声振传感器微机电结构设计及微加工制造等技术瓶颈，具有部署快速、安装简便、运行环保的优点，普遍应用后可实现声振信息低成本采集，为变电站、换流站环保监督及噪声监测提供了有效手段

来源：广州市市场监督管理局2023-04-10

重点开展复杂几何量、微纳米、微机电系统、光纤、痕量物质等领域精密测量技术研究。开展芯片三维复杂纳米结构几何参数在线精准测量技术等研究和应用。

来源：河南省人民政府2022-09-29

充分发挥我省在先进计算、智能传感器、集成电路、新型显示和智能终端、信息安全等领域特色优势，重点研发声光学元器件及模组、新型光学显示器件、光通信芯片、信息安全芯片、微机电系统传感器等核心部件，大力发展用于元宇宙的操作系统

来源：河南省人民政府2022-09-28

充分发挥我省在先进计算、智能传感器、集成电路、新型显示和智能终端、信息安全等领域特色优势，重点研发声光学元器件及模组、新型光学显示器件、光通信芯片、信息安全芯片、微机电系统传感器等核心部件，大力发展用于元宇宙的操作系统

来源：南方电网报2022-09-21

近年来，随着新型敏感材料和微机电(mems)工艺快速发展，涌现出了磁阻、压电、光电、磁光等先进传感技术和元器件，其具备微纳体积、高精度、高信噪比、宽频带、超低功耗等优势，为新一代电力微型智能传感器发展提供了新的技术路径

来源：江苏省人民政府2022-07-29

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。

来源：江苏省发展和改革委员会2022-06-17

（mems）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备

来源：江苏省发改委2022-06-17

（mems）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备

来源：北极星环保网2022-03-24

天文学创新中心项目9.承德木兰围场文化旅游产业园项目10.承德隆化中药材加工仓储物流及交易中心项目11.承德隆化风电光伏水电解制取绿氢项目12.承德高纯 oled 发光材料和光阻材料生产项目13.承德 mems（微机电系统