2004-10-15

国家高科技项目中的光刻机、离子注入机、刻蚀机、大直径硅单晶炉项目等正在加紧进行。...但部分材料制备设备(6”单晶炉、研磨机、抛光机)、后道工序设备(6”划片机、塑封机、自动封装系统、模具)以及6”前道工序中的扩散设备、快速热处理设备、清洗设备等已逐步进入集成电路生产领域。 　　

2004-08-30

国家高科技项目中的光刻机、离子注入机、刻蚀机、大直径硅单晶炉项目等正在加紧进行。...从销售角度分析，国产半导体设备的服务方向虽仍以一些院校和研究所中的科研型集成电路生产线以及半导体分立器件、led、太阳能电池、saw、电力电子等其他应用半导体设备的领域为主，但部分材料制备设备(6英寸单晶炉

2003-03-22

经过多年的努力，国产前道工序用扩散炉、快速热处理设备、清洗机、匀胶显影设备等，后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等，材料制备设备中的单晶炉、研磨机、抛光机，部分净化设备和试验设备已经日渐成熟。

来源：《IT经理世界》2007-03-12

有人计算，采购一套30兆瓦全进口的电池生产线大约需要投资1亿元，而最大的国产化生产线成本仅为5000万元，而材料制造设备如多晶硅铸锭炉、单晶炉、切割机、线锯等国产设备的技术性能已接近国际先进水平，具备了优良的性价比优势