来源：东莞市人民政府2024-09-26

重点发展第三代半导体、车规级半导体、先进封测和集成电路设备。聚焦碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料及器件发展，支持提升衬底外延生长工艺，大力发展高频高压器件产品。...积极推动工业机器人在电子信息、电气机械和装备制造的集成应用。支持以松山湖、滨海湾、厚街、谢岗为重点建设集聚区，巩固高端装备产业竞争优势。（市工业和信息化局牵头）3．半导体及集成电路产业集群。

来源：上海市生态环境局2024-04-03

（二）支持集成电路设备及零部件制造配套工艺在重点园区发展集成电路重点产业园区在开展工艺先进性和布局可行性论证的基础上，可引入设备及零部件制造行业上游关键配套的电镀等特殊工艺项目。

来源：中国能源报2023-03-13

中国目前是全球进口集成电路最大的国家。2022年，我国进口集成电路总额达4156亿美元，占全球集成电路出口总额的72.5%。在我国进口的先进制程工艺芯片中，有一半以上装配进消费电子产品中，重新出口。

来源：天津市发改委2023-02-03

45 津南海河集成电路设备产业主题园区改造提升工程46 年产7gw高效叠瓦太阳能电池组件47 北京化工研究院天津科学试验基地项目48 年产6万吨锂离子电池负极材料项目49 三星电机mlcc30亿扩能投资改造项目

来源：天津市发改委2023-02-03

45 津南海河集成电路设备产业主题园区改造提升工程46 年产7gw高效叠瓦太阳能电池组件47 北京化工研究院天津科学试验基地项目48 年产6万吨锂离子电池负极材料项目49 三星电机mlcc30亿扩能投资改造项目

来源：天津市发改委2023-02-03

45 津南海河集成电路设备产业主题园区改造提升工程46 年产7gw高效叠瓦太阳能电池组件47 北京化工研究院天津科学试验基地项目48 年产6万吨锂离子电池负极材料项目49 三星电机mlcc30亿扩能投资改造项目

来源：北极星电池网2023-02-03

45 津南海河集成电路设备产业主题园区改造提升工程46 年产7gw高效叠瓦太阳能电池组件47 北京化工研究院天津科学试验基地项目48 年产6万吨锂离子电池负极材料项目 49 三星电机mlcc30亿扩能投资改造项目

来源：中国电子报2015-06-24

2015年，在02专项和国家集成电路产业投资基金的支持下，更多的国产集成电路设备将进入大生产线，国产集成电路设备的国内外市场将继续得到增长。而led生产线设备有望实现国产化。

来源：OFweek电子工程网2013-11-13

如果把电子设备比作一个人，那么集成电路芯片就是这个人的心脏。作为世界第二大经济体，中国的这一心脏产业长期高度依赖进口，严重受制于人。...该人士表示，我国863、核高基等重大专项的每年投入合计不过数10亿元人民币，加上集成电路设备专项亦不超过百亿元人民币，与欧美甚至日韩顶级企业相差悬殊。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-31

曙海公司的技术、经营团队，是由一批在太阳能和半导体集成电路设备研发、设计、制造领域工作了20多年的国际顶尖级留美博士专家回国后结合国内精英组成，拥有硅薄膜光伏设备和组件生产的多项国际专利和核心技术。

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-15

主要产品为大规模集成电路制造设备和高精密电子元器件。...公司集成电路设备类产品下游应用领域很广，光伏行业就是其中之一。

2011-09-13

重点围绕半导体集成电路及器件设计制造和封装、半导体光电子与照明、半导体光伏发电与制冷、半导体装备与器具等领域，发展12英寸和8英寸芯片制造、芯片封装测试产业，鼓励集成电路设备、材料、设计产业发展;加快led

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

3.抓紧设备的创新开发，加速电池片成本的降低和转换效率的提高目前国产晶硅太阳能电池片生产设备大都是从原有的半导体分立器件和集成电路设备转变过来的，要降低电池片生产成本，设备必须将提高技术性能和自动化程度

来源：中国电子报2011-02-17

，3年之内将投建自己的集成电路生产线。...8英寸90nm集成电路可以交钥匙的生产线设备;12英寸65nm集成电路关键设备的产业化;8英寸半导体级单晶生长、切割、磨片、抛光设备产业化，12英寸半导体级单晶生长设备。 2.太阳

2006-02-17

十六届五中全会和全国科技大会作出了坚持自主创新、建设创新型国家的重大决策，十一五规划《建议》提出“要强化政策支持，提高重大技术装备国产化水平，特别是在先进适用运输装备、高档数控机床、自动化控制、集成电路设备和先进动力装置等领域实现突破

2005-01-28

由于半导体集成电路设备是半导体工艺技术的高度物化，在其研制中还必须掌握集成电路微细加工技术、集成电路薄膜生长技术、集成电路掺杂技术、高密度互连技术、封装技术等关键的半导体工艺技术，其技术难度之高是显而易见的

2004-11-22

该预期更加加剧了专家们对集成电路设备行业未来发展的担忧，市场经过大规模洗牌后将可能出现抑制竞争和创新的不利局面。 　　...当有人问今后十年将有多少设备制造商被并购或消失时，弗里曼说，“我想这个数目肯定很大，大概在20%-40%之间。” 　　有分析师预测目前及将来集成电路行业的低迷态势将加剧行业的整合速度。

2003-03-22

近年来，我国半导体设备领域人气较旺，目前我国半导体专用设备的生产研制单位共有60多家，涉足集成电路生产设备的厂、所至少有20家至30家，自主研制的集成电路专用设备达到上百个品种。 　　

来源：《中国电子报》2007-03-14

在6-8英寸用光刻机、刻蚀机、离子注入机、立式扩散炉、快速热处理设备，氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备、划片机、键合机、集成电路自动封装系统等设备实用化的基础上，提供批量供应。