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SiC半导体元件沟道MOSFET即将实用化

2013-11-12 16:34来源:OFweek半导体照明网关键词:SICSiC基板半导体元件收藏点赞

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近10家公司提供6寸产品

在ICSCRM 2013上,除了沟道型MOSFET的研究成果之外,关於150mm(6寸)口径基板的提案也接连不断(图3)。量产SiC功率元件使用的SiC基板目前以100mm(4寸)口径为主。随着6寸产品的普及,生产效率有望提高,从而降低SiC功率元件的成本。

图3:SiC迎来150mm基板的东风

各SiC基板企业在‘ICSCRM 2013’上纷纷展出150mm(6寸)口径的SiC基板(a)。在SiC基板上层积外延层的外延服务也开始支援150mm。昭和电工已于2013年10月推出了这项服务(b)。

现在,已经投产6寸产品并开始供应样品的主要基板企业只有美国科锐、新日铁住金等少数几家公司。为了改变这种格局,美国道康宁、美国贰陆(II-VI)、德国Si-Crystal等欧美企业,以及中国SICC、南韩SKC等众多基板企业都已经宣布投产6寸产品。汇总各公司的计划来看,在2015年之前,供应6寸产品的企业将增加到近10家左右。除此之外,昭和电工还表明,在SiC基板上层积外延层的外延服务也将支援6寸基板。随着各公司把6寸产品纳入视野,基板企业之间的价格竞争将日趋激烈,功率元件企业将有望以更低的成本,采购到需要的基板。

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