来源：NE时代2018-09-17

根据太田先生的说法，因为溅射需要太多的时间来形成薄膜所以大规模生产很困难。本次的研究能够表明的是，通过导入上述结构，组合硫化物基固态电解质和si负极制造的全固态电池可以工作。...通过溅射形成多孔结构在nims中，通过溅射形成这种非晶si的纳米多孔结构。在一般的溅射工艺中通常采用氩(ar)作为放电气体，但是本例中一个要点是采用了氦(he)气替代。

来源：潍坊大众网2018-09-11

据报道，汉能在薄膜太阳能技术领域刷新3项世界纪录：砷化镓单结量产组件效率达到25.1%;铜铟镓硒玻璃基全面积组件效率达到18.7%;柔性溅射法冠军组件效率达到19.4%。核心技术是汉能的最大发展引擎。

来源：大连化学物理研究所2018-07-20

该团队前期通过开发低温界面层，在柔性钙钛矿电池中取得了一系列成果：2015年，利用室温磁控溅射法沉积氧化钛界面层，制备的柔性钙钛矿电池效率达到15.07%（energy environ.sci.）；2016...近日，中国科学院大连化学物理研究所薄膜硅太阳电池研究组（dnl1606）研究员刘生忠和陕西师范大学研究员杨栋、博士冯江山等在柔性钙钛矿太阳能电池研究方面取得新进展。

来源：交大新闻网2018-07-18

近日，西安交通大学贾春林科学家工作室通过选取同一体系不同组分的bazr0.15ti0.85o3和bazr0.35ti0.65o3材料，利用射频磁控溅射技术生长出了具有高能量存储密度的bazr0.15ti0.85o3

来源：EVTank2018-06-05

以lipon为电解质材料制备的氧化物电池倍率性能及循环性能都比较优异，但正负极材料必须采用磁控溅射、脉冲激光沉积、化学气相沉积等方法制成薄膜电极，同时不能像普通锂离子电池工艺一样加入导电材料,且电解质不能浸润电极

来源：高工锂电技术与应用2018-05-02

zhang等人采用化学腐蚀、电化学还原和磁控溅射相结合的方法，制备三维纳米结构多层si/al薄膜负极材料，样品表现出较好的电化学性能，在4.2a/g的放电电流密度下，经120周循环后可逆比容量为1015mah

来源：锂电联盟会长2018-03-29

.pvd是一种真空沉积法，可以用来制作薄膜和涂层.pvd是材料从凝聚态转变为气态，然后再转变为凝聚态薄膜的一个过程.最常见的pvd过程是溅射和蒸发.pvd常用于制造具有机械、光学、化学或电学性能的薄膜

来源：中新网2018-03-19

同时，汉能制造的玻璃基大面积铜铟镓硒薄膜组件转化率达到18.7%；依靠溅射法制造的柔性铜铟镓硒薄膜组件，转化率达到17.88%，均为目前全球最高水平。...汉能薄膜发电集团执行董事、首席执行官司海健建议，政府与企业共同推进建立低能耗绿色产业，持续加强绿色生态城市建设。

来源：能源学人2018-03-13

放入溅射沉积仪中，通过溅射沉积得到厚度为200 nm, 400 nm 和800 nm的铜膜。...该文章发表于国际顶级期刊《自然.能源》(nature energy)图一，软基电极失稳和锂枝晶抑制示意图金属电化学沉积产生压应力是一个被广泛观测到的事实(例如锌，锡等)，同时软基材料上的金属薄膜在压应力下会失稳产生褶皱得以释放应力有着大量的研究

来源：证券日报2018-01-11

薄膜太阳能芯片研发效率18.7%，量产冠军组件效率达到16.2%;其miasol柔性cigs薄膜太阳能芯片当前的研发效率已达到19.4%，量产冠军组件效率也达到了18%，为目前全球溅射法cigs柔性组件最高效率

来源：PV兔子2018-01-10

该项目采取汉能旗下美国miasol的真空磁控溅射技术，公司称其柔性电池与不锈钢衬底构成柔性cigs组件产品，具有轻、柔、薄等优势，不仅安装简易，可灵活适用于轻钢屋顶等各种传统晶硅板无法应对的复杂环境，还可覆盖汉瓦...安徽蚌埠的300mw的cigs薄膜组件产线正式投产2017年12月，中国建材集团旗下的凯盛集团宣布其位于安徽蚌埠的300mw的cigs薄膜组件产线正式投产。

来源：高工锂电技术与应用2017-11-20

lipon型电解质1992年，美国橡树岭国家实验室(ornl)在高纯氮气气氛中采用射频磁控溅射装置溅射高纯li3p04靶制备得到锂磷氧氮(lipon)电解质薄膜。

来源：新能源前线2017-09-07

lipon型电解质1992年，美国橡树岭国家实验室（ornl)在高纯氮气气氛中采用射频磁控溅射装置溅射高纯li3p04靶制备得到锂磷氧氮(lipon)电解质薄膜。

来源：北极星太阳能光伏网2017-04-19

与此同时，拥有长达13年从研发到量产经验的汉能miasol，具备全球唯一的“cigs一站式全自动卷绕式磁控溅射镀膜系统”产线交付能力，该产线拥有不破真空连续完成所有cigs电池薄膜沉积的工艺，其独有技术更突破了

来源：中国网2016-12-27

汉能的铜铟镓硒组件也拥有两项世界纪录：一项是其美国子公司global solar energy所创造的17.2%，采用多元素共蒸发的方式；另一项是其美国子公司miasol所创造的17.3%，采用多元素溅射的方式...截至目前，汉能在薄膜发电领域的技术专利已达到1319项，其中60%为发明专利，关键专利均已转化应用。

来源：中国科学报2016-12-06

近日，西安交通大学贾春林科学家工作室刘明副教授指导博士生孙梓雄，利用射频磁控溅射技术，制备出高质量的多层复合薄膜，并研究了其储能性能。...此类多层薄膜材料不仅表现出优异的室温储能特性，同时在140摄氏度下依然保持较高的储能密度和储能效率。这将有可能实现混合动力汽车前级水冷系统的摘除，大大降低生产成本和提高机电系统的微型化。

来源：新华网2016-10-27

以及美国子公司global solar energy创造的铜铟镓硒电池组件17.2%的世界纪录（采用多元素共蒸发方式）和另一家海外公司miasol创造的铜铟镓硒电池组件17.3%的世界纪录（采用多元素溅射方式...这些产品的核心是汉能全球领先的薄膜太阳能发电技术。

来源：新华网2016-10-21

另外一方面，柔性铜铟镓硒电池溅射法冠军组件、共蒸法冠军芯片，转换率分别达到17.96%和17.7%，都是全球最高水平。...薄膜发电的技术狂自进军薄膜发电领域以来，汉能从未停止在薄膜发电技术领域的研发和投入。

来源：汉能控股集团2016-10-19

除了前文所述的砷化镓技术保持的两项世界纪录外，汉能的柔性铜铟镓硒电池溅射法冠军组件、共蒸法冠军芯片，转换效率分别达到17.96%和17.7%，均为全球最高水平，展示了汉能强大的技术研发和创新实力。...，但这是薄膜的特点。

来源：北极星环保会展网2016-10-18

、贵金属靶材、稀有金属靶材;低温超导薄膜：低熔点超导薄膜：低熔点超导薄膜，合金薄膜;高熔点超导薄膜：难熔金属，合金薄膜;化合物超导薄膜;镀膜设备：真空镀膜机、真空蒸镀设备、光学镀膜机、溅射镀膜机、眼镜镀膜机