2006-09-05

离子注入机、刻蚀机、光刻机、mocvd等关键设备应是国产设备选择的技术突破点。 　　...特别是2003年七星华创以及2004年中国电子科技集团公司第48研究所研制成功的电池片制造用最关键设备之一——热壁式生产型pecvd设备，使我国设备业已基本具备太阳能电池制造设备整线供给能力。 　　

2006-08-29

据介绍，我国led产业已初步形成了从外延片生产、芯片制造、器件封装到集成应用比较完整的产业链，但在led上游差距非常大，主要是mocvd(金属化学气相沉积设备)外延材料水平不高、规模不大、投入不够、人才缺乏

2006-02-22

针对对我国设限的关键设备，如光刻机、mocvd、离子注入机等，以及新型半导体材料，如氮化镓、soi材料等，开展自主创新，争取在全球新一轮半导体技术的竞争中占据一席之地。 　　

2005-02-05

通过近三年上千炉的mocvd材料生长实验和上百次的器件工艺实验，课题组艰苦攻关，积极创新，攻克了氮化镓基激光器研究中材料生长、器件工艺、器件测试等一系列技术难题，将氮化镓材料本底电子浓度降到小于5x1016

2005-01-28

在平板显示器件(fpd)方面，tft-lcd的生产中采用了大面积制版、大面积光学曝光、多室磁控溅射、多室pecvd等诸多半导体设备；led的生产设备则包括mocvd、lpe在内的全套半导体设备；此外，pdp

2004-12-28

它扩展了ibm 90nm工艺中的低k绝缘，它基于专利的碳掺杂氧化材料，并采用applied materials公司的cvd工具沉淀而成。 　　65nm技术还采用了一种12.5埃等离子氮氧化门。

2004-12-22

其次，增加一套世界先进的全自动太阳电池生产线，包括大型pecvd设备、扩散炉和丝网印刷机等，产量可达每小时1400片，年产多晶硅电池片50兆瓦。

2004-11-23

其次,从资金方面也有较大的投入，很多研究单位(大学)为了深入并扩大研究相关课题，投入大量资金，购置新的mocvd外延设备，如中科院半导体所、南昌大学、厦门大学等单位。...许多有实力的前工序企业正在加大投资力度，购置新设备，如厦门三安、深圳方大、江西联创、上海北大蓝光等单位均在购置新的mocvd外延设备和芯片制造设备，以增强研发力度和扩大产业化规模。

2004-10-15

这14种设备包括电子束曝光机、分步重复投影曝光机、m-rie金属刻蚀设备、rie介质刻蚀设备、imd-cvd设备、lpcvd、大束流离子注入机、磁控溅射系统、氧化扩散系统、ecr-cvd、硅片匀胶显影处理系统

2004-08-30

这14种设备包括电子束曝光机、分步重复投影曝光机、m-rie金属刻蚀设备、rie介质刻蚀设备、imd-cvd设备、lpcvd、大束流离子注入机、磁控溅射系统、氧化扩散系统、ecr-cvd、硅片匀胶显影处理系统

2004-02-12

应用材料公司的低k薄膜技术是基于化学汽相沉积(cvd)，该薄膜的k值为3，具有2gpa的硬度和12gpa的模数，该公司薄膜有效k级系数为3.2。

2003-04-25

虽然据说silk比较低的k值更容易扩展，但它的热膨胀系数(cte)比cvd碳掺杂氧化物要高得多，造成绝缘材料从芯片上的铜互连上分离。分层一直是互连过孔与铜线连接点处最麻烦的问题。...ibm发言人表示，“我们一直在寻找其它的方法，如cvd材料或扩展fsg。silk也不是ibm唯一的方案。即使它很有前途，但这并不意味着我们不会寻找其它的解决方案。” 电子工程专辑

2003-04-09

基于长期与iii-v族及硅晶圆产业伙伴的密切配合，并积极投入oled制程设备之研发，主要产品包括电浆辅助化学气相沉积设备（pecvd）：p100c／p200c；电子枪蒸镀设备（e-beam）：e850／

来源：通信世界网2007-09-17

长飞光纤光缆公司开发成功的pcvd+ovd工艺，富通集团开发的全合成工艺大棒制造和设备制造技术，都取得了可喜的成果。

2007-04-13

nf3代替sf6（六氟化硫），被用于等离子cvd（化学气相沉积）装置中使用的室内洗涤用气体。2006年的市场规模比上年增加16.3％，达到500亿日元，供货量达到3850吨。

来源：《IT经理世界》2007-03-12

前半段工艺流程的设备包括清洗机、蚀刻机、扩散设备基本可以实现国产化，而后半段的pecvd涂膜设备、丝网印刷机则采用进口设备，这样成本较低，而且效果不错。 　　

来源：《中国电子报》2007-03-07

正是在这种理念的引导下，他们研制成功了pecvd设备。事实上，他们研究薄膜淀积技术和相关设备已多年，以前的pecvd设备主要应用于ic行业。...应用于ic行业的pecvd装片舟均采用铝材料制作，其耐温低、易变形的缺点使其不适用太阳能行业。我们在做了大量试验并参考了国外设备之后，最终采用了新装片舟用来承载硅片。