来源：山东省人民政府2024-03-07

高水平共建山东产业技术研究院、山东能源研究院、山东省人工智能研究院、山东大学创新港等新型研发机构，布局符合本地产业发展需求的专业院所，搭建高层次、开放式产业协同创新平台体系。...加快建设济南先进半导体、青岛集成电路和新型显示、淄博mems、烟台光电智能传感、潍坊声学光电等信息产业基地。

来源：国家电网报2023-11-27

海北供电公司从今年年初开始研发这一新型避雷器，通过开展防炸裂材料、内置微机电（mems）温度监测等关键技术研究，逐步完善了设备的性能和稳定性，填补了省内相关领域的技术空白。...同时，该避雷器上内置的mems温度监测和泄漏电流传感元件等装置，能及时监测雷击异常发生后的泄漏电流、雷击次数等数据，并自动统计上传至云端，再发送至运维人员手机，辅助运维人员掌握避雷器运行工况并及时采取应对措施

来源：南方电网公司2023-11-07

解决公司信息基础设施向算网一体方向演进的核心技术问题，实现算力供给能力、数据处理能力、网络连通能力、业务供给能力的最大化，开展多要素融合一体化算力网络编排调度与管控关键技术研究；12）突破高精度、宽量程mems...项目2：保护用无线微型智能电流传感器关键技术研究研究宽量程、高精度等电位电流测量技术；研究大功率取能及能量管理与能效优化技术；研究电力传感低功耗低时延高可靠无线通信技术；研究微型智能电流传感器装置防护能力提升技术

来源：SGB2023-11-07

中国是全球最大的半导体设备市场，随着需求不断上升而推动的高代工资本支出、工艺的开发、存储芯片的开发、环保生产驱动的光伏需求、led、mems、功率器件和先进封装的需求不断增长，未来10年，中国极有可能成为全球半导体芯片制造的中心

来源：江西省工业和信息化厅2023-10-27

聚焦微机电系统（mems）、互补金属氧化物半导...专栏1 关键共性技术突破工程近眼显示技术。深度布局微型有机发光显示（micro oled）、微型发光显示（micro/miniled）等新型显示技术，加快向高分辨率、高刷新率、高色彩还原度等方向发展。

来源：北京国际风能大会暨展览会CWP2023-09-27

上海拜安传感技术有限公司展位号：w1-a20上海拜安传感技术有限公司自主研发的光纤微机电芯片（mems）传感器具有宽温、宽频、高精度、抗电磁干扰和长期精准测量等优点。...中压3300v是未来大功率风电的技术发展方向，我们中压三电平变流器单机功率达到12.5mw，双机并联可以满足最大25mw的应用，具备高可靠性、高效率等技术特点。

来源：纳芯微2023-09-14

2023年9月13-15日，中国（上海）国际传感器技术与应用展览会（以下简称：sensor china）在上海举办。...纳芯微涉足汽车应用的第一颗芯片是2016年发布的汽车压力传感器信号调理芯片，其广泛应用于空调压力、机油压力、刹车压力等领域，并于2018年实现了批量装车；2019年发布首款mems压力传感器。

来源：北极星电池网2023-06-29

河源市高新区新一代信息技术创新中心（二）科技攻关项目（共19项）65 超宽带通信定位控制自研芯片66 先进封装核心材料（增层膜）研发及产业化项目67 铁电存储及系统芯片关键技术与产业化项目68 基于mems...75 微小型超级电容器技术项目76 多相流量实时测控技术项目77 过程工业设备安全监测与流程优化项目78 人工智能辅助基因治疗递送载体aav衣壳蛋白筛选技术79 多能干细胞药物工程技术80 实体肿瘤免疫治疗新药的研发与产业化

来源：潍坊市人民政府2023-03-30

加快整机与光学显示零组件、超高清显示模组等核心部件的研发和生产制造，发挥龙头企业的引领作用，在mems芯片、micro-led超高清显示芯片、终端设备等核心技术领域率先实现突破。...紧跟元宇宙技术发展趋势，加大科研投入力度，实现前沿技术突破，提升技术创新能力，打造产业发展高地。2.沿链聚合、集群发展。

来源：深圳市工业和信息化局2023-03-24

（三）“卡脖子”攻关奖励项目：支持开展智能传感器及eda设计仿真工具、核心材料、先进工艺、关键设备等技术研发和产品攻关，相关技术或产品达到国际和国内先进水平，填补国内核心技术空白，能够解决智能传感器产业...2.申报主体需在我市深圳智能传感mems芯片中试验证开放平台等我市公共服务平台开展研发活动、已经形成产品并形成相关费用支出。（二）国家资

来源：南方电网公司2023-03-21

、基于北斗的空间定位技术应用、新材料模型电力井盖等关键技术，（模块1-核心技术）研发融合无线rfid与微功耗mems传感技术；（模块2-核心技术）研究基于多功能mems传感器及无线数据汇聚节点中继装置技术

来源：北极星储能网2022-10-24

北极星储能网获悉，10月20日，吉利科技集团与华润微电子签订合作协议，双方将构建车规级功率半导体产业合作机制，基于功率模块、mems传感器、面板级封装等产品或技术推出联合解决方案，实现优势互补，推动提升新能源汽车

来源：池州市人民政府2022-10-17

针对电动汽车充电桩、尘埃粒子计数器、标准电阻、静电放电发生器、示波器校准仪等计量需求，在晶圆制造、封装与测试技术、mems红外热电堆温度传感器芯片等半导体产业以及轻合金材料产业等方面开展计量测试技术研究和成果转化

来源：北极星电力网2022-09-26

；mems加速度传感器采用微加工的方式，用于采集质点加速度，可用于电力系统振动环境的监测。...来源：北极星电力网作者：辛明勇、冯起辉（贵州电网公司电力科学研究院系统技术研究中心专责）作为承载新型电力系统最佳形态的数字电网，其包含的感知层是其根基。

来源：南方电网报2022-09-21

接下来，电力行业企业要紧紧抓住mems传感器等高端传感领域技术工艺自主创新、人才培养与引进、产业聚集有序发展等关键工作，重点突破核心产品设计、制造工艺和集成应用等关键技术，做好电力领域的本地化定制适配，

来源：江苏省人民政府2022-07-29

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。...鼓励计量技术机构联合企业、科研院所、高校等，提升计量技术资源服务能力和产业支撑能力。（三）培育壮大仪器仪表产业。

来源：深圳市人民政府2022-06-30

聚焦智能传感器设计、制造、封测、装备材料等环节，加快新型传感器材料、cmos-mems集成技术、先进封装工艺等核心技术攻关，建设mems中试线、mems传感器产业基地，丰富智能传感器在消费电子、汽车电子

来源：深圳市工业和信息化局2022-06-21

2021年，深圳市智能传感器产业增加值超过40亿元，在mems麦克风领域有技术积累深厚的行业龙头企业，在激光雷达、红外热电堆等细分领域拥有具备较强研发实力和行业影响力的“小而精”科技创新型企业。

来源：江苏省发展和改革委员会2022-06-17

（mems）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备

来源：江苏省发改委2022-06-17

（mems）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备